[发明专利]有机发光面板及其制作方法、有机发光装置

权利要求书

1.一种有机发光面板，其特征在于，包括：基板、有机层、设于所述有机层一侧的第一电极及设于所述有机层另一侧的第二电极；所述第一电极设于所述有机层靠近所述基板的一侧，有机层发出的光经由第二电极引出，所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层；其中，所述缓冲电极层为高电阻层，导电电极层为高导电率层；所述缓冲电极层、导电电极层的元素种类相同，所述缓冲电极层的厚度为20nm～50nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm；所述缓冲电极层的电阻率大于0.1欧姆*厘米。

2.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层、导电电极层的材料均为透明导电氧化物。

3.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述缓冲电极层的方块电阻的阻值为0.9GΩ/□～1.1GΩ/□，所述导电电极层的方块电阻的阻值为14Ω/□～16Ω/□。

4.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述第一电极远离所述有机层的一侧还设有反射层。

5.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述第一电极和第二电极均由透明导电氧化物制成。

6.根据权利要求5所述的有机发光面板，其特征在于，所述第一电极包括由铟、锡和氧组成的化合物，第二电极包括由铟、锌和氧组成的化合物。

7.根据权利要求1所述的有机发光面板，其特征在于，所述有机层发出的是白光。

8.一种有机发光面板的制作方法，其特征在于，所述有机发光面板为权利要求1-7任一项所述的有机发光面板，该方法包括：

在基板上形成第一电极；

在所述第一电极上形成有机层；

在所述有机层上溅镀第二电极，所述第二电极包括依次层叠在所述有机层上的缓冲电极层和导电电极层；其中，所述缓冲电极层为高电阻层，导电电极层为高导电率层；所述缓冲电极层、导电电极层的元素种类相同，所述缓冲电极层的厚度为20nm～50nm，所述导电电极层的厚度为100nm～300nm；所述缓冲电极层的电阻率大于0.1欧姆*厘米。

9.根据权利要求8所述的发光面板的制作方法，其特征在于，所述缓冲电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为0.9～1.1kw，氩流量为430～470sccm，氧气流量4.3～4.7sccm，气压为3.0～3.2pa；所述导电电极层的制作工艺条件包括：溅镀功率为2.1～2.5kw，氩流量为68～72sccm，气压为0.65～0.69pa。

10.根据权利要求8所述的有机发光面板的制作方法，其特征在于，所述缓冲电极层、导电电极层均采用直流磁控反应溅镀。

11.一种有机发光装置，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的有机发光面板。