[发明专利]一种显示面板成膜设备及方法

权利要求书

1.一种显示面板成膜设备，其特征在于，包括：

至少一个真空腔体，每个所述真空腔体形成有真空腔室；

气体输送系统，与所述真空腔体连接，用于将气体输送至所述真空腔室；

待成膜基板，设置于所述真空腔室中；

气体流速调控装置，设置于所述真空腔室中，位于所述待成膜基板成膜的一侧，且与所述待成膜基板具有一定间距，输入所述真空腔室的所述气体流经所述气体流速调控装置后，在所述待成膜基板上成膜；

所述气体流速调控装置用于调控流经所述气体流速调控装置的不同位置的气体的流速；

还包括上部电极，位于所述真空腔室中，其中，

所述上部电极包括气体扩散腔，所述气体输送系统与所述气体扩散腔相连；

所述气体扩散腔靠近所述待成膜基板的一侧形成有多个通气孔，通入所述气体扩散腔的气体经所述通气孔和所述气体流速调控装置输出到所述待成膜基板；

所述气体流速调控装置包括：

通气孔开合单元，与所述通气孔对应设置，用于调节所述通气孔的可通气区域的大小；

还包括：

通气孔控制单元，连接于所述通气孔开合单元，用于控制所述通气孔开合单元的开合程度和开合状态；

所述通气孔开合单元和所述通气孔控制单元位于所述通气孔靠近所述气体扩散腔一侧。

2.根据权利要求1所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔开合单元包括至少一个旋转叶片和至少一个固定轴，所述固定轴设置于所述通气孔的周边，所述旋转叶片套于所述固定轴上并可绕所述固定轴转动，用于调节所述通气孔的可通气区域的大小。

3.根据权利要求2所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔开合单元包括沿所述通气孔的一周依次排布的多个旋转叶片和多个固定轴，所述旋转叶片与所述固定轴一一对应设置，所述旋转叶片绕所述固定轴旋转，多个所述旋转叶片向所述通气孔开合单元的中心旋进或旋出，用于调节所述通气孔的可通气区域的大小。

4.根据权利要求3所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔控制单元，包括第一控制部，所述第一控制部与所述通气孔开合单元对应设置，且与所述通气孔开合单元连接，所述第一控制部的旋转带动所述通气孔开合单元中的旋转叶片绕所述固定轴转动。

5.根据权利要求1所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔开合单元包括至少一个推拉门和与所述推拉门对应设置的至少两个推拉槽，所述推拉槽设置于所述通气孔的周边且位于所述通气孔的相对两侧，所述推拉门相对的两端设置于所述推拉槽中，且沿所述推拉槽的延伸方向滑动，用于调节所述通气孔的可通气区域的大小。

6.根据权利要求5所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔控制单元包括第一控制部，所述第一控制部与所述通气孔开合单元对应设置，且与所述通气孔开合单元连接，所述第一控制部的移动带动所述通气孔开合单元的推拉门作相同的移动。

7.根据权利要求4或6所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔控制单元还包括第二控制部；

所述第二控制部与至少一个所述第一控制部铰接或固定连接；

所述第二控制部沿第一方向的移动，带动所述第二控制部转动或移动。

8.根据权利要求7所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述通气孔沿行方向和列方向均匀分布，所述第二控制部沿所述行方向或所述列方向延伸，同一行或同一列的所述通气孔对应的所述通气孔开合单元耦接同一个所述第二控制部；

所述第一方向与所述行方向或所述列方向平行。

9.根据权利要求8所述的显示面板成膜设备，其特征在于，耦接同一个所述第二控制部的多个所述通气孔开合单元中，至少部分所述通气孔开合单元的初始开合程度不同。

10.根据权利要求7所述的显示面板成膜设备，其特征在于，所述第二控制部由电动驱动装置或气动驱动装置驱动沿所述第一方向移动。