[发明专利]基板传送装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括传送件、气浮垫及固定件，所述气浮垫设于所述传送件上并随所述传送件的传动而移动，所述基板浮于所述气浮垫上，所述固定件用于固定所述基板并使所述基板沿所述传送件的传动方向进行传送。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述气浮垫上设有多个间隔阵列设置的气孔，气体从所述气孔溢出，以使设于所述气浮垫上的基板浮起。

3.如权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述气浮垫为多孔碳纤维垫。

4.如权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括鼓气件，所述鼓气件设于所述气浮垫朝向所述传送件的一侧，所述鼓气件向所述气浮垫鼓气，所述鼓气件鼓出的气体从所述气孔溢出，且所述气流方向为所述气浮垫朝向所述传送件的一侧至所述气浮垫背离所述传送件的一侧。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括一联动杆，所述联动杆一端与所述固定件固定连接，以控制所述固定件的移动。

6.如权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述联动杆为三轴联动杆，以控制所述固定件的X、Y、Z轴三个方向的移动。

7.如权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述固定件包括固定板及间隔固定于所述固定板上的多个固定部，所述联动杆的一端与所述固定件的固定板进行固定连接。

8.如权利要求7所述的基板传送装置，其特征在于，所述固定部为真空吸附垫或者固定夹。

9.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板包括有效区及围绕所述有效区边缘并与所述有效区连接的无效区，所述固定件固定所述基板时固定于所述基板的无效区。

10.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送件包括驱动部及与所述驱动部连接的承载部，所述驱动部驱动所述承载部传动，所述气浮垫设于所述承载部上或将所述气浮垫作为所述承载部。