[发明专利]微机电设备、微机电系统和制造微机电设备的方法

权利要求书

1.一种微机电设备，包括：

衬底；

隔膜，安装至所述衬底；

第一电极，安装至所述隔膜，所述第一电极包括多个第一指状件，所述多个第一指状件的截面高度大于截面宽度，所述多个第一指状件的所述截面高度和所述截面宽度均垂直于所述多个第一指状件中的第一指状件的最长尺寸；

第二电极，安装至所述衬底，所述第二电极包括多个第二指状件，所述多个第二指状件的截面高度大于截面宽度，所述多个第二指状件的所述截面高度和所述截面宽度均垂直于所述多个第二指状件中的第二指状件的最长尺寸；

其中所述第一电极与所述第二电极横向相邻，并且所述多个第一指状件和所述多个第二指状件是相互交叉的；并且

其中所述隔膜布置在所述第一电极和所述第二电极之间的间隙之上。

2.根据权利要求1所述的微机电设备，

其中所述第一电极在垂直于所述隔膜的方向上延伸，并且所述第二电极在垂直于所述隔膜的方向上延伸。

3.根据权利要求1或2所述的微机电设备，进一步包括：

第三电极，安装至所述隔膜或所述衬底的任一侧，

其中所述第三电极与所述第一电极或所述第二电极横向相邻。

4.根据权利要求3所述的微机电设备，

其中所述第一电极和所述第二电极之间的间隙小于从所述第一电极到所述第三电极的距离、以及从所述第二电极到所述第三电极的距离。

5.根据权利要求1、2和4中任一项所述的微机电设备，

其中所述第一电极布置为与所述隔膜相距第一距离，并且所述第二电极布置为与所述隔膜相距第二距离，

其中所述第一距离不同于所述第二距离。

6.根据权利要求1所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件中的每个指状件和所述多个第二指状件中的每个指状件彼此等距。

7.根据权利要求1所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件和所述多个第二指状件包括：

彼此之间具有第一距离的相邻指状件，以及

彼此之间具有第二距离的另一些相邻指状件；

其中所述第一距离不同于所述第二距离。

8.根据权利要求1所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件中的每个指状件在所述多个第二指状件中的两个指状件之间布置为偏离中心。

9.根据权利要求1所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件和所述多个第二指状件包括：

所述多个第一指状件中彼此相邻的至少一对第一指状件；和

所述多个第二指状件中彼此相邻的至少一对第二指状件。

10.根据权利要求1或6所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件中的每个指状件和所述多个第二指状件中的每个指状件彼此平行。

11.根据权利要求1和6至9中任一项所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件中的每个指状件和所述多个第二指状件中的每个指状件相对于公共垂直轴径向布置。

12.根据权利要求1和6至9中任一项所述的微机电设备，

其中所述多个第一指状件和所述多个第二指状件相对于公共垂直轴以同心壳轮廓相互交叉。

13.根据权利要求1、2、4和6至9中任一项所述的微机电设备，

其中所述第一电极与所述隔膜集成。

14.根据权利要求1、2、4和6至9中任一项所述的微机电设备，

其中所述第一电极还包括将所述第一电极耦合至所述隔膜的至少一个过孔。