[发明专利]一种用硅胶包覆GPP芯片灌封桥式整流器的制造方法有效
申请号: | 201710633387.8 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN107393835B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 史振坤 | 申请(专利权)人: | 阳信金鑫电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/60;H01L21/56;H01L25/07;H01L23/29 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 高小荷 |
地址: | 251800 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅胶 gpp 芯片 灌封桥式 整流器 制造 方法 | ||
一种用硅胶包覆GPP芯片灌封桥式整流器的制造方法,步骤包括:将若干个GPP芯片放入分向吸盘中,所述分向吸盘包括吸盘本体,在吸盘本体上间隔设有若干排吸盘孔,所述吸盘孔为大吸盘孔和小吸盘孔间隔设置,大吸盘孔与GPP芯片的N极相配合,小吸盘孔与GPP芯片的P极相配合,晃动分向吸盘后,GPP芯片落入吸盘孔内,通过向分向吸盘孔施加负压使得GPP芯片吸附在分向吸盘上;去除了裂片、酸腐蚀、高纯水清洗绝缘硅胶高温硫化等步骤,共缩短生产周期12小时每批。台面工艺制程的GPP芯片组焊工艺,采用合金导线与芯片接触位置采用的是钉头凸点结构,此结构解决了因焊接过程中产生的气孔虚连,从而提升了器件的正向浪涌能力。
技术领域:
本发明涉及一种半导体整流器件的制造方法,特别涉及一种用硅胶包覆GPP芯片灌封桥式整流器的制造方法。
背景技术:
目前整流器的制造方法步骤为:芯片分极性→裂片→合金线分极性装填→合金线焊接→酸腐蚀铝板转换→酸腐蚀→高纯水清洗→高温烘烤→涂覆Si胶→固化→灌封→后固化→电镀→测试打印→检验→包装的工艺流程。采用这种方法制造的整流器存在以下问题:1、在焊接操作过程中,芯片的极性区分靠人工涂色区分,操作中极性方向极易出现反向不良,操作效率低,且极性反向报废不良比例大于2%。2、合金线焊接后需要经过化学试剂腐蚀,将芯片的P/N界面表层的二氧化硅腐蚀溶解,此过程会产生一定的酸液污水,影响环境防护,且化学试剂对芯片的腐蚀深度及速度受外界影响因素较多,较难控制,对于器件后续高温环境下,工作的信赖性性能存有一定的不稳定因素。3、采用化学试剂将芯片界面腐蚀后,需要用去离子超高导水进行清洗,将表面的杂质去除干净,高温烘烤后涂覆硅胶,对芯片界面进行防护防止界面污染,此时间段对生产环境温度、湿度、去离子水绝缘度、所处环境的洁净程度要求很高,且此工艺流程路线较长,若芯片界面杂质清理不净或流转过程受到外界污染时,器件在后续工作中,杂质形成逆向导通的媒介,对器件后续工作时的高温性能的可靠性存有一定的隐患。4、其合金线焊接时,导线与芯片连接面容易产生的焊接气泡难以排出,冷却后形成气孔,在后续的酸液腐蚀中产生钻蚀孔洞,造成器件的正向浪涌能力差。5、现有工艺流程,工艺流程路线较长,产品生产周期较长,自裂片焊接至半成品毛管,需要28H,对于工治具周转及产量提升存有一定的制约性。
发明内容:
本发明提供了一种半导体整流器件的制造方法,芯片的极性区分不再靠人工完成,不会产生污水避免了影响环境,高温性能的可靠性强,器件的正向浪涌能力强,工艺流程路线较短,提高了生产效率,解决了现有技术中存在的问题。
本发明为解决上述技术问题所采用的技术方案是:
一种用硅胶包覆GPP芯片灌封桥式整流器的制造方法,步骤包括:
(1)将若干个GPP芯片放入分向吸盘中,所述分向吸盘包括吸盘本体,在吸盘本体上间隔设有若干排吸盘孔,所述吸盘孔为大吸盘孔和小吸盘孔间隔设置,大吸盘孔与GPP芯片的N极相配合,小吸盘孔与GPP芯片的P极相配合,晃动分向吸盘后,GPP芯片落入吸盘孔内,通过向分向吸盘孔施加负压使得GPP芯片吸附在分向吸盘上;
(2)在焊接治具上间隔布设若干导线,每个导线的位置与吸附在分向吸盘上的在斜45°上相邻的两GPP芯片位置相对;
(3)将步骤(1)吸有GPP芯片的分向吸盘覆盖在焊接治具上,除去施加在分向吸盘上的负压,分向吸盘上的GPP芯片掉落在焊接治具上,在斜45°上相邻的两GPP芯片压在相应的导线上,在GPP芯片和导线之间设有焊片;
(4)在步骤(3)布设好GPP芯片的焊接治具上,沿斜135°间隔布设若干导线,每个导线连接相连两GPP芯片,在导线和芯片之间设有焊片,使相连四个GPP芯片组成一个整流桥;
(5)将步骤(4)的布设有若干个整流桥的焊接治具放入烧结炉中进行高温烧结,每个整流桥的四个GPP芯片和导线之间完成焊接;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造