[发明专利]位置检测装置及位置检测方法

说明书

本发明提供一种能够在基板的正反两面进行基板的定位的位置检测装置。支承部支承基板。至少一个摄像装置对支承于支承部的基板进行拍摄。处理部根据由一个摄像装置拍摄支承于支承部的基板的角部而得到的第1图像来求出基板的位置信息。之后，处理部根据由一个摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于支承部的基板的角部而得到的第2图像、第1图像及根据第1图像而求出的基板的位置信息，求出正反面翻转后的基板的位置信息。

本申请主张基于2016年7月27日于日本申请的日本专利申请第2016-146855号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种位置检测装置及位置检测方法。

背景技术

已知有一种在对基板进行绘图或加工时使用形成于基板的对准标记而对基板进行定位的技术。在对基板的正反两面进行绘图或加工时，期待正反面上的绘图位置或加工位置彼此一致。可以在基板的内层植入对准标记，并从正反两面检测一个对准标记，从而在正反两面进行定位。

作为从正反两面检测内层的对准标记的方法，可考虑使用照射强光来使对准标记浮出的方法及进行锪孔(counter boring)加工直到对准标记露出为止的方法。

在下述专利文献1中，公开有一种根据对基板的角部附近进行拍摄而得到的图像数据来对基板进行定位的网版印刷技术。

专利文献1：日本特开2014-205286号公报

但是，对于在内层未形成有对准标记的基板而言，无法应用从正反两面检测对准标记而对基板进行定位的方法。在专利文献1中，公开有一种仅在基板的单侧面进行定位的技术，并未公开在正反两面进行定位的技术。

发明内容

本发明的目的在于提供一种能够在基板的正反两面进行基板的定位的位置检测装置及位置检测方法。

根据本发明的一个观点，本发明提供一种位置检测装置，其具有：

支承部，支承基板；

至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及

处理部，

所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，

所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息。

根据本发明的另一观点，本发明提供一种位置检测方法，其中，

从基板的第1面侧拍摄所述基板的角部而获取第1图像，

根据所述第1图像，求出从所述基板的所述第1面侧观察时的所述角部的位置信息，

从与所述第1面相反一侧的第2面侧拍摄所述基板的所述角部而获取第2图像，

根据所述第1图像、所述第2图像及根据所述第1图像而求出的所述基板的所述角部的位置信息，求出从所述基板的所述第2面侧观察时的所述角部的位置信息。

由于根据拍摄基板的角部而得到的第1图像、拍摄将正反面翻转后的基板的同一个角部而得到的第2图像及根据第1图像而求出的基板的位置信息求出正反面翻转后的所述基板的位置信息，因此能够在基板的正反两面将角部作为共同的基准点。与分别对第1图像和第2图像进行图像分析而检测出角部的位置的方法相比，能够减少基板的正反两面上的共用的基准点的错位。

附图说明