[发明专利]位置检测装置及位置检测方法

权利要求书

1.一种位置检测装置，其特征在于，具有：

支承部，支承基板；

至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及

处理部，

所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，

所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息；

其中，在求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息时，所述处理部使用将所述第1图像及所述第2图像中的一个图像镜像转换后的图像和另一个图像。

2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，

所述摄像装置的景深范围包括支承于所述支承部的所述基板的上表面及下表面这双方。

3.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，

所述位置检测装置还具有自动调焦机构，该自动调焦机构使所述摄像装置(11A、11B)对焦于基板(50)的上表面及下表面的边缘中的位于更靠外侧的边缘。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的位置检测装置，其特征在于，

在求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息时，所述处理部对将所述第1图像及所述第2图像中的一个图像镜像转换后的图像与另一个图像进行图案匹配，并根据图案匹配的结果，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息。

5.根据权利要求4所述的位置检测装置，其特征在于，

所述第1图像及所述第2图像是在内部包含所述基板的所述角部的区域的图像。

6.一种位置检测方法，其特征在于，

从基板的第1面侧拍摄所述基板的角部而获取第1图像，

根据所述第1图像，求出从所述基板的所述第1面侧观察时的所述角部的位置信息，

从与所述第1面相反一侧的第2面侧拍摄所述基板的所述角部而获取第2图像，

根据所述第1图像、所述第2图像及根据所述第1图像而求出的所述基板的所述角部的位置信息，求出从所述基板的所述第2面侧观察时的所述角部的位置信息；

其中，在求出从所述基板的所述第2面侧观察时的所述角部的位置信息时，使用将所述第1图像及所述第2图像中的一个图像镜像转换后的图像和另一个图像。