[发明专利]基于人工智能的半导体制造执行系统有效
申请号: | 201710620996.X | 申请日: | 2017-07-27 |
公开(公告)号: | CN109309024B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 朱进义;谭莉;杨勇;范良巧;朱雷宇 | 申请(专利权)人: | 华润微电子(重庆)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G05B19/418 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 徐秋平 |
地址: | 401331 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 人工智能 半导体 制造 执行 系统 | ||
1.一种基于人工智能的半导体制造执行系统,其特征在于,包括:若干个单元,其中,各所述单元与各产线人员一一对应,并根据各所述产线人员之间的级联层次对应连接;各所述产线人员的层级由高至低依次包括:课级、组长、领班、及操作员,其中,各层级的人员数量为一个或多个;
当所述系统检测到机台处于预设工作状态时,根据实际情况判断出所需采取的相应操作,并据以生成执行指令发送至产线人员对应的单元,以令所述产线人员对应的单元按照所述执行指令完成相应的业务内容;其中,所述预设工作状态包括:机台空闲、机台正在跑货、机台需要使用档片和控片、机台需要进行测机、及机台需要进行保养中的一种或多种组合;
当所述系统检测到所述产线人员对应的单元没有按照相应的执行指令完成业务内容时,根据实际情况判断出所述产线人员的上级产线人员所需采取的相应操作,并据以生成新的执行指令发送至所述上级产线人员对应的单元,以令所述产线人员对应的单元按照新的执行指令完成相应的业务内容;以此类推,直至初始执行指令被实施时停止向各层次的单元发送执行指令。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统的工作过程包括:
当所述系统检测到机台空闲时,从预存信息中搜索当前机台能够跑且优先要跑的货,并据以计算出所需采取的相应操作后生成第一执行指令,发送至操作员对应的单元;
所述操作员对应的单元接收并按照所述第一执行指令完成相应的业务内容,即找到优先要跑的货;
若所述系统判断出所述操作员对应的单元没有按照所述第一执行指令完成相应的业务内容,则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作,并生成第二执行指令,发送至所述上级领班对应的单元,以令所述上级领班对应的单元按照所述第二执行指令完成相应的业务内容;
若所述系统判断出所述上级领班对应的单元没有按照所述第二执行指令完成相应的业务操作,则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作,并生成第三执行指令,发送至所述上级组长对应的单元,以令所述上级组长对应的单元按照所述第三执行指令完成相应的业务内容;
若所述系统检测到所述第一执行指令被实施时,停止向各个层次的单元发送执行指令。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统的工作过程包括:
当所述系统检测到机台正在跑货时,计算当前机台的货物预计跑完的时间,并据以计算出所需采取的相应操作后生成第四执行指令,发送至操作员对应的单元;
所述操作员对应的单元接收并按照所述第四执行指令完成相应的业务内容,即利用预先关联的派工系统准备下一批次的货物;
若所述系统判断出所述操作员对应的单元没有按照所述第四执行指令完成相应的业务内容,则计算出这种情况下该操作员的上级领班所需采取的相应操作,并生成第五执行指令,发送至所述上级领班对应的单元,以令所述上级领班对应的单元按照所述第五执行指令完成相应的业务内容;
若所述系统判断出所述上级领班对应的单元没有按照所述第五执行指令完成相应的业务操作,则计算出这种情况下该上级领班的上级组长所需采取的相应操作,并生成第六执行指令,发送至所述上级组长对应的单元,以令所述上级组长对应的单元按照所述第六执行指令完成相应的业务内容;
若所述系统检测到所述第四执行指令被实施时,停止向各个层次的单元发送执行指令。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造