[发明专利]扫描型显微镜

权利要求书

1.一种扫描型显微镜，其特征在于，包括：

带电粒子束源，其输出要照射到试样的带电粒子束；

检测器，其检测来自上述试样的带电粒子；以及

控制器，其对上述带电粒子束源以及上述检测器进行控制，

上述控制器根据用户输入从多个可变参数中选择1个以上的可变参数，使上述1个以上的可变参数发生变化，且固定上述1个以上的可变参数以外的参数，来生成多个不同的参数值集合，

取得上述多个不同的参数值集合的各个参数值集合下的、对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果，

根据上述测定结果，从上述多个不同的参数值集合中选择要使用于对象试样的测定的参数值集合。

2.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述多个可变参数包括倍率、探头电流、加速电压和扫描速度。

3.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述控制器在上述多个不同的参数值集合的各个参数值集合下，进行上述对象试样的吸收电流的时间变化的测定，取得上述对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果。

4.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

该扫描型显微镜还包括存储多个参数值集合下的吸收电流的测定数据的数据库，

上述控制器从上述数据库取得上述多个不同的参数值集合所包含的参数值集合下的上述对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果。

5.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

该扫描型显微镜还包括存储多个参数值集合下的吸收电流的测定数据的数据库，

在上述数据库存储有上述多个不同的参数值集合所包含的参数值集合下的上述对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果的情况下，上述控制器从上述数据库取得该测定结果，

在上述数据库未存储有上述对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果的参数值集合下，上述控制器进行上述对象试样的吸收电流的时间变化的测定。

6.根据权利要求4或5所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述控制器将上述对象试样的吸收电流的时间变化的测定结果存储于上述数据库中。

7.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述控制器根据上述多个不同的参数值集合的各个参数值集合下的上述对象试样材料的吸收电流的变化量，选择要使用的上述参数值集合。

8.根据权利要求7所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述控制器根据上述吸收电流的时间变化中的极大值和极小值，决定上述吸收电流的变化量。

9.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述1个以上的可变参数包括第1可变参数，

上述控制器决定上述第1可变参数为不同值时的上述对象试样材料的吸收电流的变化量，

将包含上述变化量最小的上述第1可变参数的值的参数值集合选择为上述对象试样的测定中要使用的参数值集合。

10.根据权利要求1所述的扫描型显微镜，其特征在于，

上述1个以上的可变参数包括扫描速度，

上述控制器将在上述对象试样材料的吸收电流的时间变化中，扫描速度的值表示吸收电流量的极小值的时间的参数值集合选择为上述对象试样的测定中要使用的参数值集合。

11.一种决定扫描型显微镜的参数值集合的方法，其特征在于，

上述扫描型显微镜包括：

带电粒子束源，其输出要照射到试样的带电粒子束；以及

检测器，其检测来自上述试样的带电粒子，

上述方法包括如下步骤：

根据用户输入从多个可变参数中选择1个以上的可变参数，使上述1个以上的可变参数发生变化，且固定上述1个以上的可变参数以外的参数，来生成多个不同的参数值集合；

在上述扫描型显微镜中，取得上述多个不同的参数值集合的各个参数值集合下的、对象试样材料的吸收电流的时间变化的测定结果；以及

根据上述测定结果，从上述多个不同的参数值集合中选择要使用于对象试样的测定的参数值集合。