[发明专利]一种通用的监测离子束流分布的方法

权利要求书

1.一种通用的监测离子束流分布的方法，其特征在于：利用一个二维法拉第阵列(1)接收离子束流，通过通道选择控制电路(3)控制通道选择电路(2)实现逐一对小法拉第杯(6)进行选通，I/V转换电路(4)将离子束流转换为电压信号供控制器(5)采集，控制器(5)通过信息整合，实现监测离子束流分布的功能。

2.一种通用的监测离子束流分布的方法，其特征在于：二维法拉第阵列(1)由多个小矩形法拉第杯在X和Y方向进行等距规律的紧密排列构成，当离子束流投射到二维法拉第阵列时，能够实时的通过每一个小矩形法拉第杯(6)采集束流的局部信息。

3.一种通用的监测离子束流分布的方法，其特征在于：通道选择控制电路(3)为通道选择电路(2)提供控制逻辑，保证二维法拉第阵列(1)上的小法拉第杯(6)按一定逻辑循环逐一开启束流选通通道。实现通过一个I/V转换电路(4)对多个小法拉第杯(6)的束流采集，大大简化了采集转换电路。

4.一种通用的监测离子束流分布的方法，其特征在于：I/V转换电路(4)作用为将法拉第杯采集到的离子束电流值转化为相应的电压值，并传给控制器(5)。对应不同范围的束流值，I/V转换电路(4)具有多个转换档位，用以保证精度要求。档位控制信号由控制器(5)提供。

5.一种通用的监测离子束流分布的方法，其特征在于：控制器(5)根据通道选择时序及由I/V转换电路(4)上传的由小法拉第杯(6)采集的束流局部信息，整合得到二维法拉第阵列(1)上束流的整体信息，进而得到束流在二维上的分布，并且结合不同小法拉第杯(6)采集束流大小，得到束流在二维上的密度分布。