[发明专利]一种等离子体设备的进气结构

权利要求书

1.一种等离子体设备的进气结构，其特征在于：包括真空室，所述真空室的上部或下部连接有等离子体源，所述真空室的下部或上部设有用于放置工件的工作台；所述真空室的周向设有第一进气组和第二进气组，所述第一进气组通过管道连通有第一气源，所述第二进气组通过管道连通有第二气源；所述第一进气组和所述第二进气组均包括至少三个进气口，所述进气口在竖直平面内朝向不同的方向。

2.根据权利要求1所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：所述第一进气组和所述第二进气组均包括三个所述进气口，三个所述进气口分别朝向斜上30°～60°、水平和斜下30°～60°设置。

3.根据权利要求2所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：三个所述进气口分别朝向斜上45°、水平和斜下45°设置。

4.根据权利要求1所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：所述第一进气组与所述第二进气组相对或同向设置。

5.根据权利要求1所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：所述第一进气组与所述第二进气组在水平面内的夹角为30°～150°。

6.根据权利要求1所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：每个所述进气口上均设有一匀气帽，所述匀气帽上阵列有若干个匀气孔。

7.根据权利要求1所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：每个所述进气口与所述第一气源或所述第二气源之间的管道上依次设有一开关阀，所述第一气源或所述第二气源与所述开关阀之间设有一集流阀。

8.根据权利要求7所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：所述开关阀为电动阀门，所有所述电动阀门均由一控制器控制启闭，所述控制器内预设有控制所述电动阀门启闭的程序。

9.根据权利要求8所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：还包括设置在所述真空室内部的测厚传感器，所述测厚传感器与所述控制器电连接，所述控制器能够根据所述测厚传感器反馈的检测数据分别控制所述电动阀门的启闭。

10.根据权利要求9所述的等离子体设备的进气结构，其特征在于：所述测厚传感器为激光测厚传感器或晶振测厚传感器。