[发明专利]基板切断装置在审

专利信息
申请号: 201710611481.3 申请日: 2017-07-25
公开(公告)号: CN108022858A 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 上野勉 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张刚
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 切断 装置
【说明书】:

本发明提供一种基板切断装置,能够以简单的结构断开基板。基板切断装置(1)具有第一分割单元(17)及第二分割单元(19)。第一分割单元具有:一对第一支承杆(25),配置于第一基板(W1)侧,且配置为在切断第二基板(W2)时位于第二刻划线(S2)的基板搬送方向两侧;第一断开杆(27),以能够相对移动的方式配置于一对第一支承杆间,且配置为在切断第一基板时与第一刻划线(S1)对应。第二分割单元具有:一对第二支承杆(29),配置于第二基板侧,且配置为在切断第一基板时位于第一刻划线的基板搬送方向两侧;第二断开杆(31),以能够相对移动的方式配置于一对第二支承杆间,且配置为在切断第二基板时与第二刻划线对应。

技术领域

本发明涉及一种基板切断装置,尤其是涉及一种切断形成有第一刻划线的第一基板与形成有第二刻划线的第二基板贴合而成的贴合基板的基板切断装置。

背景技术

以往,在基板的两面形成刻划线之后,沿着所形成的刻划线对基板的上表面与下表面施加规定的力而使之断开,由此进行基板的切断(例如参照专利文献1)。

专利文献1所记载的基板切断装置具有将基板从上游搬送至下游的搬送单元、沿着形成于下表面的刻划线断开下侧基板的第一断开单元、以及沿着形成于上表面的刻划线断开上侧基板的第二断开单元。第一断开单元与第二断开单元均具有在上下方向上对置的位置处配置的断开杆与支承杆。

在先技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开2014-200940号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是,在上述专利文献所记载的基板切断装置中,第一断开单元与第二断开单元配置为在基板搬送方向上隔开间隔地排列。因此,存在装置大型化且结构变得复杂的问题。

本发明的目的在于提供一种能够以简单的结构断开基板的基板切断装置。

用于解决课题的方案

以下,作为用于解决课题的方案对多个方式进行说明。这些方式能够根据需要任意地组合。

本发明的一方案所涉及的基板切断装置是切断形成有第一刻划线的第一基板与形成有第二刻划线的第二基板贴合而成的贴合基板的装置。基板切断装置具备第一分割单元以及第二分割单元。

第一分割单元具有:一对第一承接构件,它们配置于第一基板侧,且配置为在切断第二基板时位于第二刻划线的基板搬送方向两侧;以及第一断开构件,其以能够相对移动的方式配置于一对第一承接构件间,且配置为在切断第一基板时与第一刻划线对应。

第二分割单元具有:一对第二承接构件,它们配置于第二基板侧,且配置为在切断第一基板时位于第一刻划线的基板搬送方向两侧;以及第二断开构件,其以能够相对移动的方式配置于一对第二承接构件间,且配置为在切断第二基板时与第二刻划线对应。

在该装置中,在分割第二刻划线的动作中,第一分割单元的一对第一承接构件作为支承杆发挥功能,第二分割单元的第二断开构件作为断开杆与第二刻划线抵接。

在分割第一刻划线的动作中,第二分割单元的一对第二承接构件作为支承杆发挥功能,第一分割单元的第一断开构件作为断开杆而与第一刻划线抵接。

这样,第一分割单元与第二分割单元分别具有断开杆与支承杆,因此,仅通过第一分割单元与第二分割单元就能够切断第一刻划线与第二刻划线。其结果是,基板切断装置的基板搬送方向上的尺寸缩短,因此,能够以简单的结构断开基板。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星钻石工业股份有限公司,未经三星钻石工业股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710611481.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top