[发明专利]OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法有效
申请号: | 201710608575.5 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN107565063B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 李松杉 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 背板 制作方法 面板 | ||
本发明提供一种OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法。本发明的OLED背板的制作方法,在对电极层进行氧等离子处理以去除残留光阻之前,在上表面疏水侧表面亲水的像素定义层上制作保护光阻层,从而在进行氧等离子处理过程中,被保护光阻层所覆盖的像素定义层的上表面不会受到氧等离子体的影响,仍然具有疏水性,从而在去除电极层上残留光阻的同时,又能保持像素定义层上表面疏水侧表面亲水的性质,进而便于采用喷墨打印工艺制作OLED器件。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diodes,OLED)显示器具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、宽视角、使用温度范围广,可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。
OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机功能层和阴极。目前,OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜均通过真空热蒸镀工艺制备,即在真空腔体内加热有机小分子材料,使其升华或者熔融气化成材料蒸汽,透过金属掩膜板(Mask)的开孔沉积在玻璃基板上。但由于真空热蒸发制备成本高,限制了OLED显示器的大范围商业化。
喷墨打印(Ink-jet Print,IJP)技术具有材料利用率高等优点,是解决大尺寸OLED显示器成本问题的关键技术,IJP技术在OLED器件发光层的制备中,相比于传统的真空蒸镀工艺,具有节省材料、制程条件温和、成膜更均匀等诸多优点,所以更具应用潜力。此方法是利用多个喷嘴将功能材料墨水滴入预定的像素区域,待溶剂挥发后形成所需图案。
为定义出OLED显示的像素区域,喷墨打印前需要在阳极上制备像素定义(pixeldefined layer,PDL)层,通常来说,我们需要PDL层的上表面疏水,这样溶解有OLED材料的墨水液滴能够很容易流进PDL层所限定出的像素凹槽内,不会残留在PDL层的上表面;另一方面我们希望PDL层的侧表面是亲水的,这样液滴能够很好的在像素凹槽内均匀铺展开,不会在侧面产生过大的接触角(contact angle)使膜厚较薄。
传统的OLED背板中PDL层的制作方式为,如图1所示,在带有ITO(氧化铟锡)阳极210的TFT基板100上进行有机光阻材料的涂布、曝光、显影、烘烤,得到PDL层300,此时,由于该有机光阻材料本身的性质,所得到的PDL层300会出现上表面疏水而侧表面亲水的状况;但是,如图2所示,后续为去除ITO阳极210上残留的有机光阻(residue),会再进行整面性的氧等离子处理(O2plasma treatment)步骤,该过程会使PDL层300所露出的所有表面(上表面和侧表面)都变为亲水特性,接触角<40度,那么这就不符合IJP制程对PDL层300上表面疏水侧表面亲水的工艺要求,进而便会影响后续IJP制程的进行。
发明内容
本发明的目的在于提供一种OLED背板的制作方法,在去除电极层上残留光阻的同时,又能保持像素定义层上表面疏水侧表面亲水的性质,从而便于采用喷墨打印工艺制作OLED器件。
本发明的目的还在于提供一种OLED面板的制作方法,采用上述OLED背板的制作方法制作OLED背板,去除电极层上的残留光阻并得到上表面疏水侧表面亲水的像素定义层,然后通过喷墨打印的方式形成有机功能层,工艺简单,所制作的OLED器件性能更加稳定。
为实现上述目的,本发明提供了一种OLED背板的制作方法,包括以下步骤:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择