[发明专利]功率电子开关装置、其布置结构及制造开关装置的方法在审

专利信息
申请号: 201710599548.6 申请日: 2017-07-21
公开(公告)号: CN107644818A 公开(公告)日: 2018-01-30
发明(设计)人: 哈拉尔德·科波拉;约尔格·阿蒙 申请(专利权)人: 赛米控电子股份有限公司
主分类号: H01L21/603 分类号: H01L21/603;H01L23/40;H01L23/48;H01L25/07
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 代理人: 韩峰,孙志湧
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 功率 电子 开关 装置 布置 结构 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种功率电子开关装置(1),其包括基底(2)、包括连接装置(3)、以及包括压力装置(5),

其中,所述基底(2)具有彼此电绝缘的导体轨道(22),并且功率半导体组件(7)以其第一主表面(70)来被布置在所述导体轨道(22)中的一个上,并且所述功率半导体组件(7)被导电地连接到该导体轨道(22),

其中,所述连接装置(3)被构造为包括导电膜(30、34)和电绝缘膜(32)在内的膜复合物并且由此形成第一主表面和第二主表面(300、340),

其中,所述开关装置借助所述连接装置(3)以符合电路的方式来被连接在内部,并且在此情形下,所述功率半导体组件(7)的所述第二主表面(72)的接触区域(720)以强制锁定且导电的方式来被连接至所述连接装置(3)的所述第一主表面(300)的第一接触区域(304),为此,所述压力装置(5)具有压力体(50)以及在所述功率半导体组件(7)的方向上从所述压力体(50)突出的压力元件(52),

其中,所述压力元件(52)压到所述膜复合物(3)的所述第二主表面(340)的第一区段(344)上,并且在此情形下,所述第一区段(344)被布置成在所述功率半导体组件(7)的区域(74)内沿着所述功率半导体组件(7)的法线(N)的方向突出。

2.根据权利要求1所述的开关装置,其中,

所述连接装置的第二接触区域(308)以强制锁定或粘聚的方式并且以导电的方式被连接到所述基底(2)的所指配的导体轨道(22)的接触区域(222)。

3.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

所述功率半导体组件(7)以强制锁定或粘聚的方式通过其第一主表面(70)来被连接至所指配的导体轨道(22)。

4.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

所述压力体(50)具有第一切口(500),所述压力元件(52)从所述第一切口突出。

5.根据权利要求4所述的开关装置,其中,

所述压力体(50)的所述第一切口(500)被构造为从第一主表面(502)起始的凹陷部,

所述压力元件(52)完全地或近似完全地填充所述压力体(50)的所述切口(500),并且

所述压力元件(52)在所述压力体的所述第一主表面(502)从所述压力体的所述切口(500)突出。

6.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

所述压力体(52)的横向广度(544)与垂直广度(520)的比率具有大于2比1的比率,特别是具有大于4比1的比率。

7.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

所述压力体(50)由耐高温的热塑性塑料组成,特别是由聚苯硫醚组成,并且

所述压力元件(52)由弹性体组成,优选地由硅酮弹性体组成,特别是由交联的液态硅酮组成。

8.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

所述第一区段(344)的表面面积具有所指配的功率半导体组件(7)的区域(74)的至少20%,特别是至少50%。

9.根据权利要求1或2所述的开关装置,其中,

各个所述粘聚的连接被构造为焊接的、粘接的或压力烧结的连接。

10.一种包括根据权利要求1-9中的任一项所述的电子开关装置(1)的布置结构(100),其包括冷却装置(4)并且包括压力引入装置(6),其中,

所述压力引入装置(6)以间接地或直接地紧靠所述冷却装置(8)的方式来被支撑,并且将压力优选以集中的方式引入到所述压力装置(5)上,并且所述开关装置(1)由此以强制锁定的方式来被连接至所述冷却装置(4)。

11.根据权利要求10所述的布置结构,其中,

在所述基底(2)与所述冷却装置(4)之间布置导热层(40),所述导热层(40)具有小于20μm,特别是小于10μm,特别是小于5μm的厚度。

12.根据权利要求10或者11所述的布置结构,其中,

所述冷却装置(4)优选地是功率半导体模块的金属基础板或热沉。

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