[发明专利]一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置有效
| 申请号: | 201710595628.4 | 申请日: | 2017-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN107168589B | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
| 发明(设计)人: | 卢峰;重村幸治 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 王刚;龚敏 |
| 地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 显示 及其 制作方法 面板 显示装置 | ||
本发明实施例提供一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置,涉及显示技术领域。本发明实施例提供的显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域,所述周边区域内设置有多个压力传感器,所述压力传感器的材质为多晶硅,在垂直于所述显示基板的方向上,所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层,上方直接设置有第二膜层,所述第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。本发明的技术方案能够提高压力传感器检测压力的精度。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置。
背景技术
具有触控功能的显示面板被广泛应用于手机、平板电脑、公共场所大厅的信息查询机等各种显示装置中。用户只需用手指触摸显示面板上的标识就能够实现对该显示装置的操作,消除了用户对其他输入设备(如键盘和鼠标等)的依赖,使人机交互更为简易。
为了更好地满足用户需求,通常在显示面板中设置有用于检测用户按压显示面板时压力大小的压力传感器,使显示面板不仅能够采集触控位置信息,而且能够采集压力大小,以丰富触控技术的应用范围。
显示面板结构复杂,其包括许多膜层,现有技术中直接设置在压力传感器所在膜层上方和下方的膜层的材质均为氧化硅,其杨氏模量较小,在受到外力作用时,不仅会发生弹性形变,还会发生非弹性形变,其中,非弹性形变会残留在膜层中,无法恢复,使得当压力传感器所在位置无应力作用时,压力传感器仍然具有一定的形变,导致压力传感器的基线发生漂移,影响压力传感器检测压力的精度。
发明内容
本发明实施例提供一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置,可以提高压力传感器检测压力的精度。
第一方面,本发明实施例提供一种显示基板,所述显示基板包括显示区域和围绕所述显示区域的周边区域,所述周边区域内设置有多个压力传感器,所述压力传感器的材质为多晶硅,在垂直于所述显示基板的方向上,所述压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层,上方直接设置有第二膜层,所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。
第二方面,本发明实施例提供一种显示面板,所述显示面板包括以上任一项所述的显示基板。
第三方面,本发明实施例提供一种显示装置,所述显示装置包括以上所述的显示面板。
第四方面,本发明实施例提供一种显示基板的制作方法,所述显示基板的制作方法包括:
将所述显示基板划分为显示区域和围绕所述显示区域的周边区域;
在所述周边区域内形成第一膜层;
在形成所述第一膜层的所述周边区域内,直接形成多个压力传感器,所述压力传感器的材质为多晶硅;
在形成多个所述压力传感器的所述周边区域内,直接形成第二膜层;
其中,所述第一膜层和所述第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量。
本发明实施例提供了一种显示基板及其制作方法、显示面板和显示装置,其中,显示基板包括显示区域和围绕显示区域的周边区域,周边区域内设置有多个压力传感器,压力传感器的材质为多晶硅,在垂直于显示基板的方向上,压力传感器所在膜层下方直接设置有第一膜层,上方直接设置有第二膜层,由于现有技术中直接设置在压力传感器所在膜层上方和下方的膜层的材质均为氧化硅,而本发明实施例中第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层的杨氏模量大于氧化硅的杨氏模量,使得与现有技术相比第一膜层和第二膜层中的至少一个膜层更难压缩,不易发生非弹性形变,进而使得当压力传感器所在位置无应力作用时,压力传感器不会发生形变,可以有效防止压力传感器的基线发生漂移,可以起到提高压力传感器检测压力的精度的作用。
附图说明
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