[发明专利]磨削装置

说明书

提供一种磨削装置，即使在很难将磨削水从保持工作台的保持面输送给旋转接头的情况下，也能高效地将磨削水输送给旋转接头。磨削装置的保持单元包含：保持工作台，其具有对被加工物进行保持的保持部和在该保持部的外侧对磨削水进行吸引的磨削水吸引部；旋转轴，其一端固定在保持工作台的底面侧的中央；筒状的旋转接头，其围绕该旋转轴；以及电动机，其使该旋转轴进行旋转。旋转轴具有与保持工作台的保持部连通的第1吸引路和与磨削水吸引部连通的第2吸引路。旋转接头具有使第1吸引路和第2吸引路至少与吸引源连通的连通路。

技术领域

本发明涉及磨削装置，其一边对保持单元所保持的被加工物提供磨削水，一边对被加工物进行磨削。

背景技术

关于半导体晶片等板状的被加工物，在被磨削装置(例如，参照专利文献1参照)磨削而形成为规定的厚度之后，通过切削装置等进行分割而成为各个器件芯片，器件芯片被利用在各种电子设备等中。磨削装置具有对被加工物进行吸引保持的保持工作台，保持工作台的底面侧与旋转轴的一端连接。

保持工作台的保持面例如经由形成于旋转轴的内部的吸引流路而与由真空产生装置等构成的吸引源连通，吸引源所产生的吸引力经由吸引流路传递到保持面，从而保持工作台能够将被加工物吸引保持在保持面上。并且，在保持工作台与吸引源之间配设有旋转接头(例如，参照专利文献2)，旋转接头起到了将吸引源所产生的吸引力无遗漏地传递到旋转轴的吸引流路的作用。

专利文献1：日本特开2001-287141号公报

专利文献2：日本特开2004-019912号公报

上述专利文献2所记载的旋转接头具有围绕固定在保持工作台上的旋转轴的外壳，使形成于外壳的流路与形成于旋转轴的吸引流路连通，即使在旋转轴进行旋转的过程中也能够使保持工作台的保持面与吸引源连通。

旋转接头既能防止流体从流路内泄漏，又不会妨碍旋转轴的旋转运动。如果使旋转接头的外壳的内周面与旋转轴的外周面完全紧贴，则虽然能够防止流体泄漏，但会因接触面的摩擦力阻碍旋转轴的旋转。因此，在旋转接头的内部配设有防止流体泄漏的机械密封件。机械密封件例如具有：旋转密封环，其能够借助弹簧等在旋转轴的轴向上运动并且与旋转轴一起进行旋转；以及固定密封环，其无法在轴向上运动且无法旋转。并且，通过弹簧的力将旋转密封环按压在固定密封环上，旋转密封环的与旋转轴垂直的滑动面和固定密封环的与旋转轴垂直的滑动面互相接触，通过使旋转密封环与固定密封环相对旋转，既能够在外壳与旋转轴之间设置出微米单位的间隙以使旋转轴的旋转不会被外壳妨碍，又能够将来自流路内的流体泄漏控制到最小限度。并且，向外壳与旋转轴之间的微米单位的间隙(所谓密封空间)提供水，利用该水将密封空间内充满，从而能够提高对于在旋转接头内通过的流体(例如，空气)的密封性，并且能够使机械密封件上的密封面冷却。

这里，在磨削装置中，在磨削加工中利用保持工作台对被加工物进行吸引保持，例如一边从保持工作台的保持面与被加工物的被保持面之间的微小的间隙或被加工物的外周缘与保持面之间的间隙对磨削水进行吸引，一边进行磨削。即，从保持工作台的保持面对经由磨削单元等提供到保持工作台所保持的被加工物上的磨削水进行吸引，一边将吸引得到的磨削水输送给旋转接头，一边进行磨削。通过将磨削水输送给旋转接头，防止因旋转轴的旋转而经由机械密封件产生的摩擦热对旋转接头造成的不良情况，并且，用水将旋转接头的密封空间内充满而提高了密封性。

然而，根据磨削加工的方式，也存在无法在磨削加工中将磨削水输送给旋转接头的情况。例如，在被加工物的与被加工面相反的一侧的面上粘贴保护带，该保护带的外周部被粘贴在环状框架上，由此，在处于被加工物被环状框架支承的状态的情况下，保持工作台的保持面被保护带全部覆盖，因此无法从保持面对磨削水进行吸引，无法将磨削水输送给旋转接头。并且，即使在加强吸引源的吸引力而将被加工物强力地吸引保持在保持工作台的保持面上的情况下，也无法从保持面吸引磨削水，无法将磨削水输送给旋转接头。因此，存在如下情况：旋转接头的密封空间内的水因由旋转轴旋转产生的摩擦热而气化，旋转接头内部变得干燥。其结果是，存在摩擦热进一步变大而使旋转接头破损的情况。