[发明专利]磨削装置

权利要求书

1.一种磨削装置，其具有：保持单元，其对被加工物进行保持；以及磨削单元，其一边对该保持单元所保持的被加工物提供磨削水一边利用磨削磨具进行磨削，其中，

该保持单元包含：

保持工作台，其具有对被加工物进行吸引保持的保持面、位于该保持面的外侧并供被提供给被加工物的磨削水流下并积存的环状凹陷部和由多孔部件构成并从该环状凹陷部对去除了磨削屑的磨削水进行吸引的磨削水吸引部；

旋转轴，其一端固定在该保持工作台的底面侧的中央；

筒状的旋转接头，其围绕该旋转轴；以及

旋转单元，其使该旋转轴进行旋转，

该旋转轴具有与该保持工作台的该保持部连通的第1吸引路和与该磨削水吸引部连通的第2吸引路，

该旋转接头具有使该第1吸引路和该第2吸引路至少与吸引源连通的连通路，

在连结该连通路和该吸引源的配管上具有与该吸引源或空气提供源能够选择性连通的三通电磁阀，

该磨削装置通过对该三通电磁阀进行切换控制，能够选择性地进行如下处理：使该空气提供源送出的空气从该磨削水吸引部喷出而去除附着于该磨削水吸引部的磨削屑；以及由该磨削水吸引部对被提供给被加工物且流下到该环状凹陷部的包含磨削屑的磨削水去除磨削屑后进行吸引而使流入该第2吸引路中的磨削水介于该旋转轴与该旋转接头之间。