[发明专利]一种异形薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种异形薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板。

背景技术

近年来，以薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称为TFT)作为其对应像素单元驱动开关的显示面板，即TFT显示面板，在手机、电脑等显示装置中的应用非常广泛。而且，为了向用户提供高品质的视觉享受，TFT显示面板也越来越追求高分辨率和高开口率。

然而，在现有的TFT显示面板中，薄膜晶体管至少包括有栅极、源极、漏极以及有源层等，使得薄膜晶体管需要具备一定的尺寸，才能确保薄膜晶体管具有稳定的电控性能；但是薄膜晶体管的尺寸大小，对薄膜晶体管所在显示面板的开口率和分辨率存在显著影响，这也就使得现有TFT显示面板的分辨率和开口率难以进一步提高，从而导致现有的TFT显示面板，难以适应用户对视觉享受品质不断提高的需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种异形薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板，用于提高TFT显示面板的开口率和分辨率，以改善TFT显示面板的显示品质。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种异形薄膜晶体管，包括薄膜晶体管，以及形成在衬底基板的凸块，凸块具有晶体管形成面，薄膜晶体管形成在晶体管形成面；

而且，晶体管形成面与凸块面向衬底基板的表面之间具有夹角α，且0°＜α＜90°。

与现有技术相比，本发明提供的异形薄膜晶体管具有如下有益效果：

在本发明提供的异形薄膜晶体管中，将凸块形成在衬底基板上，而将薄膜晶体管形成在凸块的晶体管形成面上，利用晶体管形成面与凸块面向衬底基板的表面之间具有介于0°到90°的夹角α，即以衬底基板面向凸块的表面作为参照基准时，晶体管形成面呈夹角α倾斜设置，能够使得薄膜晶体管也就相对于衬底基板呈夹角α倾斜设置。

因此，与现有平铺设在衬底基板的薄膜晶体管相比，当薄膜晶体管的尺寸相同时，本发明提供的异形薄膜晶体管因其薄膜晶体管倾斜设置在衬底基板上，能够使得异形薄膜晶体管在衬底基板的投影面积，远小于现有薄膜晶体管在衬底基板的投影面积，这样在阵列设置异形薄膜晶体管的TFT显示面板中，对应异形薄膜晶体管所需存在的不透光区域的面积，也就能够随之减小，从而提高异形薄膜晶体管所在TFT显示面板的开口率；而且，异形薄膜晶体在衬底基板的投影面积越小，则在同一衬底基板上能够形成的异形薄膜晶体管的个数也就越多，这样在设有异形薄膜晶体管的TFT显示面板中，对应异形薄膜晶体管能够存在的像素单元的个数也就相应增多，从而提高异形薄膜晶体管所在TFT显示面板的分辨率。

综上，本发明提供的异形薄膜晶体管，可以提高其所在TFT显示面板的开口率和分辨率，从而改善TFT显示面板的显示品质，以提高用户的视觉享受品质。

基于上述异形薄膜晶体管的技术方案，本发明的第二方面提供一种阵列基板，所述阵列基板包括上述技术方案所提供的异形薄膜晶体管。

与现有技术相比，本发明提供的阵列基板所能实现的有益效果，与上述技术方案提供的异形薄膜晶体管所能达到的有益效果相同，在此不做赘述。

基于上述异形薄膜晶体管的技术方案，本发明的第三方面提供一种异形薄膜晶体管的制作方法，所述制作方法包括：

提供一衬底基板，在衬底基板上形成凸块，使得凸块具有晶体管形成面，晶体管形成面与凸块面向衬底基板的表面之间具有夹角α，且0°＜α＜90°；

在晶体管形成面形成薄膜晶体管。

与现有技术相比，本发明提供的异形薄膜晶体管的制作方法所能实现的有益效果，与上述技术方案提供的异形薄膜晶体管所能达到的有益效果相同，在此不做赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例一提供的异形薄膜晶体管的结构示意图；

图2为本发明实施例二提供的异形薄膜晶体管的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的异形薄膜晶体管的制作方法流程图；

图4为本发明实施例一提供的异形薄膜晶体管的制作方法流程图；

图5为本发明实施例二提供的异形薄膜晶体管的制作方法流程图。

附图标记：

1-衬底基板， 2-凸块，

21-晶体管形成面，3-薄膜晶体管，

31-栅极，32-绝缘层，