[发明专利]减压干燥设备及减压干燥方法

权利要求书

1.一种减压干燥设备，其特征在于，包括：工作腔(10)、工作台(21)、抽气孔(30)、进气孔(40)、以及进气孔阀门(50)；

所述工作台(21)设于所述工作腔(10)内，所述工作台(21)的四角分别设有一抽气孔(30)，对应每一个抽气孔(30)均设有至少一个与该抽气孔(30)相邻的进气孔(40)，每一个进气孔(40)上均设有一进气孔阀门(50)；

所述工作台(21)用于放置待干燥的基板(20)，所述抽气孔(30)所在的平面高于所述工作台(21)的上表面且低于所述基板(20)的上表面；

所述抽气孔(30)用于对所述工作腔(10)进行抽气降压，所述进气孔(40)用于向所述工作腔(10)通入保护气，所述进气孔阀门(50)用于控制各个进气孔(40)的进气流量。

2.如权利要求1所述的减压干燥设备，其特征在于，对应每一个抽气孔(30)均设有与该抽气孔(30)相邻的至少两个进气孔(40)，所述至少两个进气孔(40)与其所对应的抽气孔(30)之间的距离不同。

3.如权利要求2所述的减压干燥设备，其特征在于，对于与同一个抽气孔(30)相邻的各个进气孔(40)，所述进气孔阀门(50)控制距离该抽气孔(30)近的进气孔(40)的进气流量大于距离该抽气孔(30)远的进气孔(40)的进气流量。

4.如权利要求1所述的减压干燥设备，其特征在于，所述进气孔阀门(50)控制所述进气孔(40)的进气流量随着抽气孔(30)抽气的时长的增加而减小。

5.如权利要求1所述的减压干燥设备，其特征在于，所述进气孔阀门(50)为电磁控制阀门。

6.一种减压干燥方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供一减压干燥设备和一待干燥的基板(20)，所述减压干燥设备包括：工作腔(10)、工作台(21)、抽气孔(30)、进气孔(40)、以及进气孔阀门(50)；

所述工作台(21)设于所述工作腔(10)内，所述工作台(21)的四角分别设有一抽气孔(30)，对应每一个抽气孔(30)均设有至少一个与该抽气孔(30)相邻的进气孔(40)，每一个进气孔(40)上均设有一进气孔阀门(50)；

所述基板(20)放置于所述工作台(21)上，所述抽气孔(30)所在的平面高于所述工作台(21)的上表面且低于所述基板(20)的上表面；

步骤S2、所述抽气孔(30)抽气降低所述工作腔(10)内的压力使得所述基板(20)上的光刻胶溶剂挥发，并将挥发后的光刻胶溶剂抽离所述工作腔(10)；在所述抽气孔(30)抽气的同时，所述进气孔(40)在进气孔阀门(50)的控制下按照预设的进气流量向所述工作腔(10)内通入保护气，降低所述抽气孔(30)从所述基板(20)的边缘抽离挥发后的光刻胶溶剂的速度。

7.如权利要求6所述的减压干燥方法，其特征在于，所述步骤S1中，对应每一个抽气孔(30)均设有与该抽气孔(30)相邻的至少两个进气孔(40)，所述至少两个进气孔(40)与其所对应的抽气孔(30)之间的距离不同。

8.如权利要求7所述的减压干燥方法，其特征在于，所述步骤S2中，对于与同一个抽气孔(30)相邻的各个进气孔(40)，进气孔阀门(50)控制距离该抽气孔(30)近的进气孔(40)的进气流量大于距离该抽气孔(30)远的进气孔(40)的进气流量。

9.如权利要求6所述的减压干燥方法，其特征在于，所述步骤S2中，进气孔阀门(50)控制所述进气孔(40)的进气流量随着抽气孔(30)抽气的时长的增加而减小。

10.如权利要求6所述的减压干燥方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述进气孔阀门(50)为电磁控制阀门。