[发明专利]一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，包括多个传感单元，多个传感单元阵列排布，且集成一体，每个传感单元包括上电极层(1)、电解池层(2)、下电极层(3)和引出层(5)；

上电极层(1)、电解池层(2)、下电极层(3)和引出层(5)依次对位叠层；

上电极层(1)的基片上设有第一电解池通孔(1-1)、第一引线(1-4)、第一过孔(1-2)和催化电极(1-3)；催化电极(1-3)通过第一引线(1-4)与第一过孔(1-2)连通，催化电极(1-3)半封闭式覆盖第一电解池通孔(1-1)；

电解池层(2)的基片上设有第二电解池通孔(2-1)和第二过孔(2-2)；第一电解池通孔(1-1)和第二电解池通孔(2-1)相通，形成电解池腔，第二过孔(2-2)与第一过孔(1-2)连通；

下电极层(3)的基片上设有对电极(3-1)、第二引线(3-6)、第三过孔(3-4)和第四过孔(3-5)；对电极(3-1)位于电解池腔正下方，对电极(3-1)通过第二引线(3-6)与第三过孔(3-4)连通，第四过孔(3-5)与第二过孔(2-2)连通；

引出层(5)的基片上设有第一引出端(5-1)和第二引出端(5-2)；

第一引出端(5-1)与第四过孔(3-5)连通，第二引出端(5-2)与第三过孔(3-4)连通。

2.根据权利要求1所述的一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，下电极层(3)的基片上还设有参比电极(3-2)、第三引线(3-7)和第五过孔(3-3)；参比电极(3-2)为半封闭圆环，对电极(3-1)位于半封闭圆环内，参比电极(3-2)通过第三引线(3-7)与第五过孔(3-3)连通；

引出层(5)的基片上还设有第三引出端(5-3)；

第三引出端(5-3)与第五过孔(3-3)连通。

3.根据权利要求2所述的一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，还包括形成于下电极层(3)和引出层(5)之间的温度控制层(4)；

温度控制层(4)的基片上设有加热电阻条(4-1)、第六过孔(4-1-1)、第七过孔(4-1-2)、第八过孔(4-2)、第九过孔(4-3)和第十过孔(4-4)；

加热电阻条(4-1)位于对电极(3-1)正下方，加热电阻条(4-1)的一端与第六过孔(4-1-1)连接、加热电阻条(4-1)的另一端与第七过孔(4-1-2)连接，第八过孔(4-2)与第五过孔(3-3)连通，第九过孔(4-3)与第三过孔(3-4)连通，第十过孔(4-4)与第四过孔(3-5)连通；

引出层(5)的基片上还设有第四引出端(5-4)和第五引出端(5-5)；

第四引出端(5-4)与第六过孔(4-1-1)连通，第五引出端(5-5)与第七过孔(4-1-2)连通，第一引出端(5-1)通过第十过孔(4-4)与第四过孔(3-5)连通，第二引出端(5-2)通过第九过孔(4-3)与第三过孔(3-4)连通，第三引出端(5-3)通过第八过孔(4-2)与第五过孔(3-3)连通。

4.根据权利要求1所述的一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，电解池腔内填充多孔载体，催化电极(1-3)固定在多孔载体上，多孔载体内盛装电解液。

5.根据权利要求4所述的一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，所述电解液为离子电解液。

6.根据权利要求1所述的一种开放式、阵列化、集成化的电化学气体传感器，其特征在于，催化电极(1-3)的浆料中包括成孔剂。