[发明专利]一种全自动的蚀刻装置及其控制方法

权利要求书

1.一种全自动的蚀刻装置，其特征在于：

包括蚀刻箱(100)，所述蚀刻箱(100) 的顶部设置有用于喷淋蚀刻液的喷 淋机构(200)，所述喷淋机构(200) 包括第一摆动气缸(210)，所述第一摆动 气缸(210)的输出轴上固定有喷淋仓(220)，所述喷淋仓(220)包括第一喷 淋区域(230)及第二喷淋区域(240)，所述第二喷淋区域(240)环绕所述第 一喷淋区域(230)设置，所述第一喷淋区域(230)喷嘴的密度大于所述第二 喷淋区域(240)喷嘴的密度；

所述喷淋仓(200)下方设置有两条导轨(310)，所述导轨(310)上设置 有沿所述导轨(310) 移动的载物台 (320)，所述载物台 (320) 由伺服电机 (321) 驱动；

所述两条导轨(310)之间设置有用于抓取和翻转线路板的机械手(400)， 所述机械手(400)包括基座(410)，以及位于所述基座(410)上的升降气缸 (420)，所述升降气缸(420)的输出轴通过固定件与第二摆动气缸(430)连 接，所述第二摆动气缸(430)的输出轴通过固定件与伸缩气缸(440)连接， 所述伸缩气缸(440)的输出轴通过固定件与气爪(450)连接；

所述第一摆动气缸(210)、所述伺服电机(321)、所述升降气缸(420)、 所述第二摆动气缸(430)、所述伸缩气缸(440)及所述气爪(450)均与控制 器(500)电联接；

所述第二喷淋区域(240) 包括四个子喷淋区域， 所述四个子喷淋区域均与 第二输液管(241)连通；

所述蚀刻箱(100) 两端的侧壁分别设置有进口(101)、出口(102)，所述 进口(101) 高于所述载物台(320) 的上方， 所述出口(102)、所述载物台(320) 位于同一高度， 所述进口(101) 的上方设置有接近开关(103)，所述接近开关 (103)与所述控制器(500)电联接。

2. 根据权利要求 1 所述的一种全自动的蚀刻装置，其特征在于：

所述四个子喷淋区域通过四个挡板(242)隔开。

3. 根据权利要求 1 所述的一种全自动的蚀刻装置，其特征在于：

所述第一喷淋区域(230) 与第一输液管(231) 连通， 所述第一输液管(231) 及所述第二输液管(241) 均与总输液管(243) 连通， 所述总输液管(243)上 设置有加热器(244)，以及位于所述加热器(244) 的下游的温度传感器(245)， 所述加热器(244)、所述温度传感器(245)均与所述控制器(500)电联接。

4. 根据权利要求 3 所述的一种全自动的蚀刻装置，其特征在于：

所述第一输液管(231) 上设置有第一电动阀 (232)，所述第二输液管 (241) 上设置有第二电动阀(246)，所述第一电动阀(232)、所述第二电动阀(246) 均与所述控制器(500)电联接。

5. 根据权利要求 1 所述的一种全自动的蚀刻装置，其特征在于：

所述蚀刻箱(100)内设置有第一辊筒(104)、与所述第一辊筒(104)在 同一高度的第二辊筒 (105)、位于所述第二辊筒(105) 斜下方的第三辊筒 (106) 及与所述第三辊筒(106)在同一高度的第四辊筒(107)，所述第一辊筒(104) 的上表面、所述第二辊筒(105)的上表面及所述进口(101)位于同一高度，

所述第三辊筒(106) 位于所述第二辊筒(105) 更远离所述进口(101) 的一侧， 且所述第三辊筒(106)的下表面的高于所述载物台(320)的上表面，传送带 依次穿过所述第一辊筒(104)、所述第二辊筒(105)、所述第三辊筒(106)及 所述第四辊筒(107)，所述传送带由传送电机驱动，所述传送电机与所述控制 器(500)电联接。

6. 根据权利要求 1 所述的一种全自动的蚀刻装置，其特征在于

所述载物台(320)的上表面相对设置有导向板(322)。