[发明专利]一种用于HITACHIDB800的吹气除尘系统在审
| 申请号： | 201710562811.4 | 申请日： | 2017-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN107275266A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陆明;王金贵;邵克 | 申请（专利权）人： | 苏州通博半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙)31288 | 代理人： | 刘君 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 hitachidb800 吹气 除尘 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于HITACHI DB800的吹气除尘系统，包括：动力设备，输送管道，输送管道上设有阀门，橡胶管道，上下端面封闭的进气管道,吹气管道，与进气管道垂直相通连接的吹气管道上加工有多个在同一水平线上的单面孔且单面孔的法线方向斜向下且吹气管道远离进气管道的一端是封闭的，进气管道竖直固定在导轨一侧，吹气管道设置在点胶台的前方4～7cm处的导轨上方且与导轨方向垂直。
2.如权利要求1所述吹气除尘系统，其特征在于：吹气管道5上的单面孔的法线与水平面呈40～60°。
3.如权利要求1所述吹气除尘系统，其特征在于：吹气喷头中吹出气体的气压为0.25～0.35kg/cm2。
4.如权利要求1所述吹气除尘系统，其特征在于：橡胶管道的直径范围为0.5～1cm。
5.如权利要求1所述吹气除尘系统，其特征在于：点胶台之前设置多个进气管道和吹气管道，其中相邻的吹气管道之间通过硬质管道连接。
6.如权利要求1所述吹气除尘系统，其特征在于：橡胶管道与进气管道之间，进气管道与吹气管道之间，通过气门接头连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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