[发明专利]测试探针、测试装置及测试方法

说明书

一种测试探针、测试装置及测试方法。该测试探针包括针架以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针。所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。该测试探针可以有效避免基板的扎伤风险。

技术领域

本公开实施例涉及一种测试探针、测试装置及测试方法。

背景技术

阵列综合检测(Array Test，AT)设备的测试方式为接触式测试，探针组件(ProbeAssembly，PA)上的测试探针通过与基板表面直接接触以加载测试信号。测试过程中由于支撑PA的探针组件支撑架的安装存在误差，或者PA的安装存在误差，亦或者测试探针的下降高度过低，都可能导致测试探针与基板表面之间的接触变为刚性接触，进而可能导致扎伤基板。而此时测试探针与基板仍然存在接触，AT设备正常测试，因此无法有效避免基板的扎伤风险。

发明内容

本公开至少一实施例提供一种测试探针、测试装置及测试方法。该测试探针可以有效避免基板的扎伤风险。

本公开至少一实施例提供一种测试探针，包括针架以及至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针。所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述针架包括容纳所述动针的通道且在所述通道的一端设置有开口，所述动针包括：设置在所述针架的通道内的第一传导部，设置在所述第一传导部靠近所述开口的一端上且通过所述开口延伸至所述针架外的第二传导部，以及设置在所述第二传导部远离所述第一传导部的一端上的针头。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部与所述针架彼此绝缘，所述第二传导部配置为在所述第一行程内与所述针架开口处的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁保持绝缘。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第二传导部在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁接触的部分上设置有绝缘层。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，在所述第一传导部远离所述第二传导部的一端的端面上和所述第一传导部的外表面上设置有绝缘层。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，在所述针架内壁除了所述开口处的内壁的部分上设置有绝缘层。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部的材料为绝缘材料。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第二传导部与所述针架彼此绝缘；所述第一传导部配置为在所述第一行程内与所述通道的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述通道的内壁保持绝缘。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述针架在所述开口处的内壁上设置有绝缘膜，所述针架在所述第二行程内与所述第一传导部接触的内壁上设置有绝缘膜。

例如，本公开一实施例提供的测试探针还包括：设置在所述针架的通道远离所述开口的一端上的探针端盖，以及设置在所述针架的通道内且与所述第一传导部连接的弹性装置；所述弹性装置处于受力状态。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述弹性装置包括弹簧。

例如，在本公开一实施例提供的测试探针中，所述第一传导部、所述第二传导部和所述针头一体成型。

本公开至少一实施例还提供一种测试装置，包括本公开任一实施例所述的测试探针。

例如，本公开一实施例提供的测试装置还包括探针组件和探针组件支撑架；所述探针组件包括多个测试探针。