[发明专利]测试探针、测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种测试探针，包括：

针架，以及

至少部分伸入所述针架内部且可与所述针架相对移动的动针，其中，

所述动针配置为在相对所述针架移动的第一行程内与所述针架电连接以输出测试信号，在相对所述针架移动的第二行程内与所述针架断开电连接；

所述针架包括容纳所述动针的通道且在所述通道的一端设置有开口，

所述动针包括：

设置在所述针架的通道内的第一传导部，

设置在所述第一传导部靠近所述开口的一端上且通过所述开口延伸至所述针架外的第二传导部，以及

设置在所述第二传导部远离所述第一传导部的一端上的针头。

2.根据权利要求1所述的测试探针，其中，

所述第一传导部与所述针架彼此绝缘，

所述第二传导部配置为在所述第一行程内与所述针架开口处的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁保持绝缘。

3.根据权利要求2所述的测试探针，其中，所述第二传导部在所述第二行程内与所述针架开口处的内壁接触的部分上设置有绝缘层。

4.根据权利要求3所述的测试探针，其中，在所述第一传导部远离所述第二传导部的一端的端面上和所述第一传导部的外表面上设置有绝缘层。

5.根据权利要求3所述的测试探针，其中，在所述针架内壁除了所述开口处的内壁的部分上设置有绝缘层。

6.根据权利要求3所述的测试探针，其中，所述第一传导部的材料为绝缘材料。

7.根据权利要求1所述的测试探针，其中，

所述第二传导部与所述针架彼此绝缘，

所述第一传导部配置为在所述第一行程内与所述通道的内壁保持电连接，在所述第二行程内与所述通道的内壁保持绝缘。

8.根据权利 要求7所述的测试探针，其中，

所述针架在所述开口处的内壁上设置有绝缘膜，

所述针架在所述第二行程内与所述第一传导部接触的内壁上设置有绝缘膜。

9.根据权利要求1-8任一所述的测试探针，还包括：

设置在所述针架的通道远离所述开口的一端上的探针端盖，以及

设置在所述针架的通道内且与所述第一传导部连接的弹性装置；其中，

所述弹性装置处于受力状态。

10.根据权利要求9所述的测试探针，其中，所述弹性装置包括弹簧。

11.根据权利要求1-5、7、8任一所述的测试探针，其中，所述第一传导部、所述第二传导部和所述针头一体成型。

12.一种测试装置，包括权利要求1-11任一所述的测试探针。

13.根据权利要求12所述的测试装置，还包括探针组件和探针组件支撑架，其中，所述探针组件包括多个所述测试探针。

14.一种使用如权利要求12或13所述的测试装置进行测试的测试方法，包括：

驱动所述测试探针使所述测试探针与被测基板接触；

通过所述测试探针加载测试信号；

当检测到所述测试信号与所述被测基板的连接断开后，停止驱动所述测试探针。