[发明专利]激光结晶设备及其驱动方法

说明书

提供了一种激光结晶设备及其驱动方法。所述激光结晶设备包括：激光产生模块，被构造成产生激光束；光学模块，被构造成引导激光束；退火室，包括其上设置有目标基底的台，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜，台沿X轴方向和Y轴方向是可移动的；以及倾斜折射透镜，被构造成将具有矩形形状的横截面区的激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束并且被构造成与台垂直地照射所述倾斜的激光束。

技术领域

发明构思的示例性实施例涉及一种激光结晶设备以及一种驱动该激光结晶设备的方法。更具体地，发明构思的示例实施例涉及一种用于减少结晶缺陷的激光结晶设备以及一种驱动该激光结晶设备的方法。

背景技术

通常，非晶硅具有的一个缺点在于它具有低的电子迁移率，即，低的电荷载流子迁移率。可在包括基底上的薄膜晶体管(TFT)的驱动电路中使用多晶硅，所述薄膜晶体管不能使用非晶硅。因此，使用多晶硅制造的TFT不需要多个端子连接件和驱动集成电路(IC)。因此，当使用多晶硅TFT时，可改善生产率和可靠性并且可减小显示面板的厚度。

在低温下制造这样的多晶硅TFT的方法包括固相结晶(SPC)、金属诱导结晶(MIC)、金属诱导横向结晶(MILC)和准分子激光退火(ELA)。具体地，当制造有机发光二极管(OLED)显示器或液晶显示器(LCD)时，准分子激光退火方法通常被使用并且包括使用高能激光束以执行结晶。

发明内容

发明构思的示例性实施例提供一种用于减少结晶缺陷的激光结晶设备。

发明构思的示例性实施例提供一种驱动激光结晶设备的方法。

根据发明构思的示例性实施例，提供了一种激光结晶设备。所述激光结晶设备包括：激光产生模块，被构造成产生激光束；光学模块，被构造成引导激光束；退火室，包括其上设置有目标基底的台，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜，台沿X轴方向和Y轴方向是可移动的；以及倾斜折射透镜，被构造成将具有矩形形状的横截面区的激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束并且被构造成与台垂直地照射倾斜的激光束。

在示例性实施例中，台可仅沿X轴方向移动。

在示例性实施例中，倾斜的激光束的横截面区可包括具有与X轴平行的较短边和相对于Y轴倾斜的倾斜的较长边的非矩形的平行四边形形状。

在示例性实施例中，光学模块可包括被构造成朝向退火室反射激光束的多个反射镜以及被构造成朝向退火室传导从反射镜反射的激光束的第一窗口，其中，第一窗口包括倾斜折射透镜。

在示例性实施例中，退火室可包括被构造成朝向台传导从光学模块出射的激光束的第二窗口，其中，第二窗口包括倾斜折射透镜。

在示例性实施例中，退火室可包括被构造成传导从光学模块出射的激光束的第二窗口以及被构造成朝向倾斜折射透镜反射穿过第二窗口入射的激光束的反射镜。

在示例性实施例中，目标基底的投射有倾斜的激光束的投射区可与目标基底的其上先前投射有倾斜的激光束的先前投射区部分地重叠。

在示例性实施例中，目标基底的倾斜的激光束扫描的扫描区可包括与X轴平行的第一侧边缘和相对于Y轴倾斜的第二侧边缘。

在示例性实施例中，扫描区可具有相对于Y轴倾斜的非矩形的平行四边形形状。

在示例性实施例中，激光束可为脉冲激光。

在示例性实施例中，目标基底可包括用于显示设备的TFT阵列基底。

根据发明构思的示例性实施例，提供了一种驱动激光结晶设备的方法。所述方法包括：产生激光束；将具有矩形形状的横截面区的激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束；以及与目标基底垂直地照射倾斜的激光束，目标基底包括形成在其中的非晶薄膜并且设置在台上。