[发明专利]激光结晶设备及其驱动方法

权利要求书

1.一种激光结晶设备，所述激光结晶设备包括：

激光产生模块，被构造成产生激光束；

光学模块，被构造成引导所述激光束；

退火室，包括台，在台上设置有目标基底，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜，所述台沿X轴方向和Y轴方向是可移动的；以及

倾斜折射透镜，被构造成将具有矩形形状的横截面区的所述激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束并且被构造成与所述台垂直地照射所述倾斜的激光束，

其中，所述倾斜的激光束的所述横截面区包括具有与所述X轴方向平行的较短边和相对于所述Y轴方向倾斜的倾斜的较长边的所述非矩形的平行四边形形状。

2.如权利要求1所述的激光结晶设备，其中，所述台仅沿所述X轴方向移动。

3.如权利要求2所述的激光结晶设备，其中，所述光学模块包括：

多个反射镜，被构造成朝向所述退火室反射所述激光束；以及

第一窗口，被构造成朝向所述退火室传导从所述多个反射镜反射的所述激光束，其中，所述第一窗口包括所述倾斜折射透镜。

4.如权利要求2所述的激光结晶设备，其中，所述退火室包括：

第二窗口，被构造成朝向所述台传导从所述光学模块出射的所述激光束，其中，所述第二窗口包括所述倾斜折射透镜。

5.如权利要求2所述的激光结晶设备，其中，所述退火室包括：

第二窗口，被构造成传导从所述光学模块出射的所述激光束；以及

反射镜，被构造成朝向所述倾斜折射透镜反射穿过所述第二窗口入射的所述激光束。

6.如权利要求2所述的激光结晶设备，其中，所述目标基底的投射有所述倾斜的激光束的投射区与所述目标基底的其上先前投射有倾斜的激光束的先前投射区部分地重叠。

7.如权利要求2所述的激光结晶设备，其中，所述目标基底的所述倾斜的激光束扫描的扫描区包括与所述X轴方向平行的第一侧边缘和相对于所述Y轴方向倾斜的第二侧边缘。

8.如权利要求7所述的激光结晶设备，其中，所述扫描区具有相对于所述Y轴方向倾斜的非矩形的平行四边形形状。

9.如权利要求1所述的激光结晶设备，其中，所述激光束为脉冲激光。

10.如权利要求1所述的激光结晶设备，其中，所述目标基底包括用于显示设备的薄膜晶体管阵列基底。

11.一种驱动激光结晶设备的方法，所述方法包括：

产生激光束；

将具有矩形形状的横截面区的所述激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束；以及

与目标基底垂直地照射所述倾斜的激光束，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜并且设置在台上，

其中，所述倾斜的激光束的所述横截面区包括具有与X轴方向平行的较短边和相对于Y轴方向倾斜的倾斜的较长边的所述非矩形的平行四边形形状。

12.如权利要求11所述的方法，其中，仅沿所述X轴方向移动所述台。

13.如权利要求12所述的方法，其中，所述倾斜的激光束的所述横截面区包括相对于所述Y轴方向倾斜了-1度的角度的较长边。

14.如权利要求12所述的方法，其中，所述目标基底的投射有所述倾斜的激光束的投射区与所述目标基底的其上先前投射有所述倾斜的激光束的先前投射区部分地重叠。

15.如权利要求12所述的方法，其中，所述目标基底的所述倾斜的激光束扫描的扫描区包括与所述X轴方向平行的第一侧边缘和相对于所述Y轴方向倾斜的第二侧边缘。