[发明专利]抛光液管路系统和上下盘研磨机构

权利要求书

1.一种上下盘研磨机构，其特征在于，所述上下盘研磨机构包括抛光液管路系统，还包括第一冷却机构及第二冷却机构；

所述抛光液管路系统包括供液装置和抛光液储存器，所述抛光液储存器设置有环形的储液槽；所述供液装置通过输液管向所述储液槽内提供抛光液；所述抛光液储存器上还设置有与所述储液槽连通的出液孔，通过所述出液孔向待冷却装置输送抛光液；所述供液装置包括供液桶，所述供液桶通过输液管向所述储液槽内提供抛光液；所述输液管上设置有恒压智能阀，用于调控抛光液的输送量和输送周期；在所述储液槽内设置有调整刷，所述调整刷设置在所述输液管的端部，用于减缓抛光液的流速；

所述第一冷却机构包括多个固定连接在一起的第一冷却盘，且多个所述第一冷却盘上下层叠设置；上下相邻的两个所述第一冷却盘之间具有冷却通道；多个所述第一冷却盘中，位于最下层的所述第一冷却盘的下端面用于固定上盘研磨体，且所述上盘研磨体上开设有流孔，所述流孔与所述冷却通道相连通；所述第二冷却机构包括喷嘴组件，所述喷嘴组件设于下盘研磨体的下方，用于向所述下盘研磨体喷射抛光液；所述出液孔与所述冷却通道通过供液管连通；

所述上盘研磨体由多个上盘研磨片采用分片的形式拼接而成；所述下盘研磨体也由多个下盘研磨片采用分片的形式拼接而成；

上下相邻的两个所述第一冷却盘中，位于上方的所述第一冷却盘的下端面开设有第一半槽，位于下方的所述第一冷却盘的上端面开设有第二半槽；所述第一半槽与所述第二半槽相拼合形成所述冷却通道；当所述第一冷却盘的数量不小于三时，所述冷却通道的数量为多个，且多个所述冷却通道之间相连通。

2.根据权利要求1所述的上下盘研磨机构，其特征在于，所述抛光液储存器呈圆环形。

3.根据权利要求2所述的上下盘研磨机构，其特征在于，沿所述抛光液储存器的周向均匀的设置有多个出液孔。