[发明专利]一种起偏装置及光配向装置

说明书

本发明提供了一种本发明提供一种起偏装置及光配向装置，包括起偏单元及安装框架，所述起偏单元包括起偏线栅、线栅框板及线栅调整单元，所述线栅框板用于支承所述起偏线栅，所述线栅框板以所述起偏线栅的法线方向为旋转轴转动安装在所述安装框架上，所述线栅调整单元为所述线栅框板的转动提供驱动力，所述线栅框板的旋转轴和所述线栅调整单元的驱力点位于所述起偏线栅的线栅平面的一对对角上，解决了现有的起偏装置的调整分辨率不能满足实际使用需求的问题。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种起偏装置及光配向装置。

背景技术

液晶显示面板(LCD)通常包括两个基板(阵列基板TFT，彩膜基板CF)、两个基板之间的液晶层以及两个基板外侧的偏光板。在液晶显示技术中，通过施加电压使液晶层中产生电场，进而改变液晶分子的扭转角度，并配合上下基板外侧的两个偏光板，从而产生图像显示。

然而，为保证图像的显示效果，均需使液晶分子有一个初始取向方向，因此在基板上需设置有配向膜层，其可以使液晶按照一定的方向定向。即通过对所述配向膜层的表面进行定向以控制液晶分子的排布方向并使其排布方向一致，进而获取均一的显示效果，而避免产生图像显示不均匀(Mura)的问题。

目前，对配向膜的取向处理可采用光配向工艺，即将规定波长的偏振光照射在配向膜上，使得与偏振光的偏振轴方向一致或垂直的配向膜发生光致反应，例如光致交联、光致分解或光致异构，进而使配向膜产生各向异性，并利用其所产生的定向锚定能诱导液晶分子按照一定角度统一取向。但是，随着对显示对比度以及像素密度的要求越来越高，对于液晶分子的取向方向的一致性要求也越来越高，相应的，就需要进一步确保光配向设备中偏光轴方向的一致性，即提高光配向设备的光配向精度，进而改善基板在光配向过程中的偏光角的均匀性。

在光配向过程中，影响偏光角均匀性的因素主要为起偏照明装置。起偏照明装置用于提供一偏振光，为保证光配向过程中整个基板上所形成的配向角的一致性，需确保起偏照明装置所产生的偏振光偏振角度的一致性。

起偏照明装置一般由照明组件和线栅组件组成。所述照明组件包括直槽型反射罩和灯管，流槽型反射罩一般为抛物线型反射罩，灯管发出的光经反射罩反射后形成具有特定角度的光。线栅组件包括依次叠放的滤光片、起偏线栅及线栅保护玻璃，在滤光片和起偏线栅之间通入有压缩空气，在起偏线栅和线栅保护玻璃之间通入有惰性气体如氮气。起偏线栅包括一透明基底以及透明基底上的若干条状的光栅。光栅的材质为金属或金属化合物，金属优选为铝，金属氧化物优选为氧化钛。

线栅组件的起偏线栅一般情况下是由多个线栅拼接而成的。偏振光偏振角度的一致性，除了受光源入射角、条状光栅的一致性影响外，还要考虑起偏线栅的安装位置偏差导致的影响。因而在线栅组件中需要包含有线栅方位角调整装置。

现有的起偏线栅的调整装置如图1所示：起偏线栅40由2个线栅压紧片20通过螺钉固定在线栅框板30上，线栅框板30安装在安装框架(本领域的公知常识，图中未示出)上，可绕旋转轴60转动，通过调节旋转轴60两边的调整螺钉50，从而可使光栅方位角满足要求。

根据实际使用需求，起偏线栅的方位角的位置精度≤0.02°，方位角的调整范围为±1°，而实际使用中发现，上述调整装置的调整分辨率较低，无法满足上述要求。因此，本发明提出一种新的起偏装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种起偏装置及光配向装置，以解决现有的起偏装置的分辨率不能满足实际使用需求的问题。

本发明提供一种起偏装置，包括起偏单元及安装框架，所述起偏单元包括起偏线栅、线栅框板及线栅调整单元，所述线栅框板用于支承所述起偏线栅，所述线栅框板以所述起偏线栅的法线方向为旋转轴转动安装在所述安装框架上，所述线栅调整单元为所述线栅框板的转动提供驱动力，所述线栅框板的旋转轴和所述线栅调整单元的驱力点位于所述起偏线栅的线栅平面的一对对角上。