[发明专利]一种起偏装置及光配向装置有效
申请号: | 201710527294.7 | 申请日: | 2017-06-30 |
公开(公告)号: | CN109212648B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 赵灿武;朱树存 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/30 | 分类号: | G02B5/30;G02F1/1335;G02F1/1337 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种起偏装置,包括起偏单元及安装框架,其特征在于,所述起偏单元包括起偏线栅、线栅框板及线栅调整单元,所述线栅框板用于支承所述起偏线栅,所述线栅框板以所述起偏线栅的法线方向为旋转轴转动安装在所述安装框架上,所述线栅调整单元为所述线栅框板的转动提供驱动力,所述线栅框板的旋转轴和所述线栅调整单元的驱力点位于所述起偏线栅的线栅平面的一对对角上。
2.如权利要求1所述的起偏装置,其特征在于,所述线栅调整单元包括斜面块、螺母滑块、丝杆衬套和丝杆,所述丝杆衬套将所述丝杆固定在所述安装框架上,所述螺母滑块螺纹连接在所述丝杆上,所述斜面块固定在所述线栅框板上,所述斜面块与螺母滑块构成一个斜面滑动机构。
3.如权利要求2所述的起偏装置,其特征在于,所述丝杆为差分丝杆。
4.如权利要求2所述的起偏装置,其特征在于,所述螺母滑块与斜面块的接触面为圆台斜面。
5.如权利要求2所述的起偏装置,其特征在于,所述螺母滑块相对所述斜面块沿垂直于所述线栅平面的方向运动,使得所述斜面块沿垂直于所述螺母滑块的运动方向运动。
6.如权利要求5所述的起偏装置,其特征在于,所述安装框架上设有为所述螺母滑块运动提供导向的滑动槽。
7.如权利要求3所述的起偏装置,其特征在于,所述差分丝杆旋转一周时螺母滑块运动路程的范围为0.05-0.3mm。
8.如权利要求1所述的起偏装置,其特征在于,所述线栅调整单元包括螺旋千分尺、滑块和推杆,所述推杆连接所述滑块,并与所述线栅框板垂直连接,所述螺旋千分尺固定在所述安装框架上,所述螺旋 千分尺的顶杆推动所述滑块沿所述螺旋千分尺的自身轴线移动,所述螺旋千分尺的自身轴线垂直于所述推杆的轴线。
9.如权利要求1所述的起偏装置,其特征在于,所述起偏装置还包括弹簧柱塞,所述弹簧柱塞固定在所述安装框架上并与所述线栅框板接触,所述弹簧柱塞向所述线栅框板施加预紧力以保持所述线栅框板与所述线栅调整单元的驱力点接触。
10.如权利要求9所述的起偏装置,其特征在于,所述弹簧柱塞的安装位置与所述线栅调整单元的驱力点相对,且与所述线栅框板的旋转轴位于同一侧。
11.一种光配向装置,其特征在于,包括照明组件和权利要求1-10任一所述起偏装置。
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