[发明专利]一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板有效

专利信息
申请号: 201710511539.7 申请日: 2017-06-28
公开(公告)号: CN107359177B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 王国超 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56;H01L51/00
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 钟子敏
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 背板 制作方法 液晶显示 面板 以及 oled 显示
【说明书】:

发明公开了一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板,该制作方法包括:提供一基板;在基板上依次制作缓冲层、有源层、栅极绝缘层;在栅极绝缘层上对应像素区制作栅极,以及对应隔离区制作刻蚀阻挡层;在栅极和刻蚀阻挡层上制作第二绝缘层;在第二绝缘层上采用第一次刻蚀工艺在隔离区制作第一过孔以及在绑定区制作第二过孔;在第二绝缘层上涂覆有机材料,且有机材料填充于第一过孔以及第二过孔中,形成有机填充层;在有机填充层上制作源极和漏极。通过上述方式,本发明一方面能够不增加制程的情况下,在刻蚀中不损坏有源层,另一方面能够提高背板的柔韧性。

技术领域

本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板。

背景技术

随着AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode,有源矩阵有机发光二极体)显示屏技术在产业界越来越成熟,便携式电子器件对于显示屏的需求也逐渐成为了对于柔性AMOLED显示屏的需求。柔性OLED显示屏具有更加轻薄,功耗更低,可以弯折成任意形状以满足市场对可穿戴设备的需求等优点。

为了使面板的柔韧性更好,一般会对面板进行打孔,并在孔中填充有机材料以提升面板的柔韧性。但是在打孔时,稍有不慎,就会损坏到有源层,降低产品良率。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板,一方面能够不增加制程的情况下,在刻蚀中不损坏有源层,另一方面能够提高背板的柔韧性。

为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种柔性背板的制作方法,该柔性背板包括多个像素区、多个像素区之间的隔离区以及绑定区,该制作方法包括:提供一基板;在基板上依次制作缓冲层、有源层、栅极绝缘层;在栅极绝缘层上对应像素区制作栅极,以及对应隔离区制作刻蚀阻挡层;在栅极和刻蚀阻挡层上制作第二绝缘层;在第二绝缘层上采用第一次刻蚀工艺在隔离区制作第一过孔以及在绑定区制作第二过孔;其中,第一过孔的孔底位于刻蚀阻挡层,第二过孔的孔底位于基板;在第二绝缘层上涂覆有机材料,且有机材料填充于第一过孔以及第二过孔中,形成有机填充层;在有机填充层上制作源极和漏极;其中,源极连接有源层的源极区域,漏极连接有源层的漏极区域。

为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种液晶显示面板,包括阵列基板、彩膜基板以及阵列基板和彩膜基板之间的液晶层,其中,阵列基板包括背板和电极层,背板是采用上的制作方法制作得到。

为解决上述技术问题,本发明采用的另一个技术方案是:提供一种OLED显示面板,包括上基板、下基板以及上基板和下基板之间的发光器件,其中,下基板包括背板和电极层,背板是采用如上的制作方法制作得到。

本发明的有益效果是:区别于现有技术的情况,本发明提供的柔性背板的制作方法包括:提供一基板;在基板上依次制作缓冲层、有源层、栅极绝缘层;在栅极绝缘层上对应像素区制作栅极,以及对应隔离区制作刻蚀阻挡层;在栅极和刻蚀阻挡层上制作第二绝缘层;在第二绝缘层上采用第一次刻蚀工艺在隔离区制作第一过孔以及在绑定区制作第二过孔;在第二绝缘层上涂覆有机材料,且有机材料填充于第一过孔以及第二过孔中,形成有机填充层;在有机填充层上制作源极和漏极。通过上述方式,一方面能够不增加制程的情况下,在刻蚀中不损坏有源层,另一方面能够提高背板的柔韧性。

附图说明

图1是本发明提供的柔性背板的制作方法一实施例的结构示意图;

图2是本发明提供的柔性背板的制作方法一实施例的流程示意图;

图3是步骤S21-S22的结构示意图;

图4是步骤S23-S24的结构示意图;

图5是步骤S25的结构示意图;

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