[发明专利]一种硅溶胶抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201710506535.X | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107057580A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王飞 | 申请（专利权）人： | 合肥博之泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 合肥道正企智知识产权代理有限公司34130 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市肥西县上派*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅溶胶 抛光 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅溶胶抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：将硅溶胶、表面活性剂、钝化剂、缓蚀剂、磷酸、柠檬酸、草酸和氨水混合，并加热搅拌形成所述硅溶胶抛光液，其中，
相对于100重量份的硅溶胶，所述表面活性剂的用量为10-15重量份，所述钝化剂的用量为1-4重量份，所述缓蚀剂的用量为2-8重量份，所述磷酸的用量为10-20重量份，所述柠檬酸的用量为2-10重量份，所述草酸的用量为1-5重量份，所述氨水的用量为5-8重量份。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述表面活性剂为辛基酚聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪酸聚氧乙烯酯中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述缓蚀剂为铬酸钠、亚硝酸钠和硅酸钠中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述加热温度为30-45℃，加热时间为10-20min。
5.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述搅拌速度为800-1000r/min，搅拌时间为5-10min。
6.根据权利要求1所述的制备方法，其中，所述钝化剂的原料包括有磷钼酸铵、硬脂酸锌和过氧化氢。
7.一种硅溶胶抛光液，其特征在于，所述硅溶胶抛光液由权利要求1-6中任意一项所述的制备方法制得。
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