[发明专利]晶棒线切割机

说明书

技术领域

本技术属于切割晶棒的专用设备技术领域，涉及一种晶棒线切割机。

背景技术

在生产晶片的工艺中，需要对圆柱形晶棒的端头进行切断，现有技术中，切断晶棒的端头时，首先将晶棒固定在切割机的夹具内，切割机的切刀为圆形砂轮刀片，操作人员对晶棒定位后，启动电机带动切刀转动，开始对晶棒端头切割。由于刀片具有一定的厚度，切割晶棒时，切口较大，导致晶棒的损耗较多；在切割时，如果刀片转速较大，刀片会在切口两侧碰碎晶体，造成切口外的毛边裂口较大，导致带毛边的晶片浪费；如果砂轮刀片转速较低，这使得切割晶棒的速度很慢，加工时间长，工作效率低。另外，由于圆形刀片体积较小，如果高速转动切割，刀片的散热器慢，其温度升高导致使用寿命较短，刀片浪费较大。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶棒线切割机，解决现有技术中，采用砂轮刀片切割晶棒时，存在的晶棒损耗较多、工作效率较低以及和刀片浪费较大的问题。

本发明的技术方案是：一种晶棒线切割机，该切割机由绕线装置、张紧装置和晶棒定位装置组成，绕线装置由绕线筒和纵移车组成，纵移车的底板安装在工作台前端的前纵向滑轨上，在前纵向滑轨的两端安装有行程开关，纵移车的底板上安装有两块固定板，绕线筒安装在两个固定板的之间，在绕线筒上绕有切割线，在固定板的一端外侧安装有绕线电机，绕线电机与绕线筒转轴连接，绕线筒转轴的另一端安装有纵移车变速器，纵移车变速器上安装有竖向传动丝杆，在竖向传动丝杆的下端头安装有锥形盘；在纵移车底板下安装有纵移车纵移丝杆，在纵移车纵移丝杆的端头安装有锥形齿轮，锥形盘与锥形齿轮相配合，纵移车纵移丝杆上套装的固定螺母固定安装在工作台上，行程开关和绕线电机通过信号线与控制器连接；张紧装置安装在工作台中部的安装板正面，由导线轮和张紧轮组成，导线轮有多个，分为上下对称的两组，切割线绕过导线轮，在上下两组导线轮之间安装板上的对称安装有摆动杆，摆动杆的前端安装张紧轮，张紧轮压在切割线上，摆动杆前端安装有张紧拉簧，张紧拉簧一端固定在安装板中部，在安装板上安装有冷却液喷头，在冷却液喷头下方的工作台上设置有集水槽；晶棒定位装置安装在工作台后瑞，该装置包括滑座、晶棒夹头和晶棒转动机构，滑座由后纵向滑轨和后纵移滑板组成，后纵向滑轨安装在工作台上，后纵移滑板安装在后纵向滑轨上，后纵移滑板下底设置有后纵移丝杆，后纵移丝杆外端安装后纵移手柄，后纵移丝杆上套装的固定螺母固定安装在工作台上，后纵移滑板上面设计有后横向滑轨，晶棒转动机构的底板安装在后横向滑轨上，晶棒转动机构的底板下设置有后横移丝杆，后横移丝杆外端安装有后横移手柄，后横移丝杆上套装的固定螺母固定安装在后纵移滑板上，晶棒转动机构的夹头变速器和夹头转动电机安装在晶棒转动机构的底板上，夹头转动电机转轴与夹头变速器连接，夹头转动电机通过信号线与控制器连接；晶棒的夹头安装在夹头变速器的输出端，切割线经过晶棒的轴线。

安装在晶棒转动机构的夹头变速器上的夹头有上下并列的两个。

采用本发明的技术方案，工人首先将晶棒固定在夹头内，通过后纵移手柄和后横移手柄，分别调节晶棒的纵向和横向的位置，使晶棒的一端贴在切割线上。

切线以闭合的方式从前到后层绕制在绕线筒上，在电机的带动下，滚筒匀速转动，同时，在竖向传动丝杆和移动车纵移丝杆的带动下，纵移车匀速运动，当纵移车触碰到前纵移滑轨端头上的行程开关时，电机停止，再反向转动，绕线筒惯性停止再反转，如此反复进行，将晶棒端头切断。

切割时，绕线筒上的电机带动绕线筒转动，切割线收放速度均匀、进程稳定，并且切割线直径较细、与晶棒进行软接触，切割时切出的切口较窄、毛边较小，减小晶棒的损耗；由于绕线筒可绕制较长的切线，切割线与晶棒接触后回到绕线筒上降温时间较长，其温度升高小，使用寿命长；由于，晶棒夹具在驱动电机带动下可以使晶棒自身高速转动，提高晶棒的切割速度，与现有技术相比，可以大幅缩短切割时间，提高切割效率。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施例