[发明专利]晶棒线切割机

权利要求书

1.晶棒线切割机，其特征在于：该切割机由绕线装置、张紧装置和晶棒定位装置组成，绕线装置由绕线筒（8）和纵移车（4）组成，纵移车（4）的底板安装在工作台（1）前端的前纵向滑轨（2）上，在前纵向滑轨（2）的两端安装有行程开关（3），纵移车（4）的底板上安装有两块固定板（6），绕线筒（8）安装在两个固定板（6）的之间，在绕线筒（8）上绕有切割线（7），在固定板（6）的一端外侧安装有绕线电机（5），绕线电机（5）与绕线筒（8）转轴连接，绕线筒（8）转轴的另一端安装有纵移车变速器（9），纵移车变速器（9）上安装有竖向传动丝杆（10），在竖向传动丝杆（10）的下端头安装有锥形盘（11）；在纵移车（4）底板下安装有纵移车纵移丝杆（13），在纵移车纵移丝杆（13）的端头安装有锥形齿轮（12），锥形盘（11）与锥形齿轮（12）相配合，纵移车纵移丝杆（13）上套装的固定螺母固定安装在工作台（1）上，行程开关（3）和绕线电机（5）通过信号线与控制器（14）连接；张紧装置安装在工作台（1）中部的安装板（15）正面，由导线轮（16）和张紧轮（18）组成，导线轮（16）有多个，分为上下对称的两组，切割线（7）绕过导线轮（16），在上下两组导线轮（16）之间安装板（15）上的对称安装有摆动杆（17），摆动杆（17）的前端安装张紧轮（18），张紧轮（18）压在切割线（7）上，摆动杆（17）前端安装有张紧拉簧（19），张紧拉簧（19）一端固定在安装板（15）中部，在安装板（15）上安装有冷却液喷头（20），在冷却液喷头（20）下方的工作台（1）上设置有集水槽（31）；晶棒定位装置安装在工作台（1）后瑞，该装置包括滑座、晶棒夹头和晶棒转动机构，滑座由后纵向滑轨（27）和后纵移滑板（30）组成，后纵向滑轨（27）安装在工作台（1）上，后纵移滑板（30）安装在后纵向滑轨（27）上，后纵移滑板（30）下底设置有后纵移丝杆（29），后纵移丝杆（29）外端安装后纵移手柄（28），后纵移丝杆（29）上套装的固定螺母固定安装在工作台（1）上，后纵移滑板（30）上面设计有后横向滑轨，晶棒转动机构的底板安装在后横向滑轨上，晶棒转动机构的底板下设置有后横移丝杆（25），后横移丝杆（25）外端安装有后横移手柄（26），后横移丝杆（25）上套装的固定螺母固定安装在后纵移滑板（30）上，晶棒转动机构的夹头变速器（23）和夹头转动电机（24）安装在晶棒转动机构的底板上，夹头转动电机（24）转轴与夹头变速器（23）连接，夹头转动电机（24）通过信号线与控制器（14）连接；晶棒（21）的夹头（22）安装在夹头变速器（23）的输出端，切割线（7）经过晶棒（21）的轴线。

2.如权利要求1所述的晶棒线切割机，其特征在于：安装在晶棒转动机构的夹头变速器（23）上的夹头（22）有上下并列的两个。