[发明专利]柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置有效
| 申请号: | 201710499234.9 | 申请日: | 2017-06-27 |
| 公开(公告)号: | CN107316952B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
| 发明(设计)人: | 张春鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制备 方法 显示装置 | ||
本申请公开了一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置,该制备方法包括:提供一具有形状记忆功能的母板;对母板进行第一次处理,使得母板发生形变;在发生形变的母板之上沉积薄膜基板;对发生形变母板进行第二次处理,使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状,并且与薄膜基板分离。本申请通过在具有形状记忆功能的母板上形成薄膜基板,对母板进行形变恢复时,可以使得母板与薄膜基板容易分离,降低薄膜基板的翘曲,进而提高制备柔性显示面板的良品率。
技术领域
本发明一般涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板的制备方法、利用柔性显示面板的制备方法制备的柔性显示面板以及柔性显示装置。
背景技术
现有的柔性显示面板制备的过程中,通常需要提供一具有一定硬度的衬底基板,在该衬底基板上制备具有一定柔性、可弯曲的柔性基板、发光器件等,待各膜层工艺制备完毕后,将柔性基板与衬底基板剥离开来,从而形成具有一定的柔性、可卷曲的柔性显示面板。
然而,现有的将柔性基板与衬底基板剥离的过程通常采用传统的机械剥离、静电剥离或镭射剥离的方法。这样一来,在剥离过程中,容易造成柔性基板的翘曲,从而降低制作柔性显示面板的良品率。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置,以期解决现有技术中存在的技术问题。
第一方面,本申请实施例提供了一种柔性显示面板的制备方法,该制备方法包括:提供一具有形状记忆功能的母板;对母板进行第一次处理,使得母板发生形变;在发生形变的母板之上沉积薄膜基板;对发生形变的母板进行第二次处理,使得发生形变的母板形变为第一次处理之前的形状,并且与薄膜基板分离。
在一些实施例中,对母板进行第一次处理,使得母板发生形变,包括:通过压板使母板发生形变。
在一些实施例中,母板包括主体部,母板的主体部包括面向压板一侧的第一表面,压板包括主体部,压板的主体部包括面向母板一侧的第二表面;在第一表面和第二表面中,其中一个为平面,另一个形成有多个凸起。
在一些实施例中,第一表面包括多个凸起,第二表面为平面;通过压板使母板发生形变,包括:压板在外界压力下将形成于第一表面的凸起压入母板的主体部,使得第一表面形变为平面。
在一些实施例中,在发生形变的母板之上沉积薄膜基板,包括:在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。
在一些实施例中,第一表面为平面,第二表面形成有多个凸起;通过压板使母板发生形变,包括:压板在外界压力下,形成于第二表面的凸起被压入母板的主体部,第一表面形变为包括与第二表面的凸起形状一致的凹槽。
在一些实施例中,在发生形变的母板之上沉积薄膜基板,包括:在形变后的第一表面之上沉积薄膜基板。
在一些实施例中,方法还包括:在各凹槽中沉积第一材料,以使第一表面形变为水平面;在形变后的第一表面之上沉积第二材料形成薄膜基板,其中,第一材料的硬度大于第二材料的硬度。
在一些实施例中,制备方法还包括:在薄膜基板远离发生形变的母板的一侧形成有像素阵列;其中,像素阵列包括多个子像素。
在一些实施例中,制备方法还包括:在薄膜基板与发生形变的母板相接触的一侧形成平坦化层。
在一些实施例中,母板的材料为记忆合金材料或形状记忆高分子材料。
在一些实施例中,记忆合金材料包括:锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。
在一些实施例中,形状记忆高分子材料包括:聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





