[发明专利]柔性显示面板的制备方法、柔性显示面板及柔性显示装置有效
申请号: | 201710499234.9 | 申请日: | 2017-06-27 |
公开(公告)号: | CN107316952B | 公开(公告)日: | 2019-05-24 |
发明(设计)人: | 张春鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制备 方法 显示装置 | ||
1.一种柔性显示面板的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括:
提供一具有形状记忆功能的母板;
对所述母板进行第一次处理,通过压板使得所述母板发生形变,所述母板包括主体部和面向所述压板一侧的第一表面,所述压板包括主体部,所述压板的主体部包括面向所述母板一侧的第二表面;在所述第一表面和所述第二表面中,其中一个为平面,另一个形成有多个凸起;
在所述发生形变的母板之上沉积薄膜基板;
对所述发生形变的母板进行第二次处理,使得所述发生形变的母板形变为所述第一次处理之前的形状,并且与所述薄膜基板分离。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
所述第一表面形成有多个凸起,所述第二表面为平面;所述通过压板使所述母板发生形变,包括:
所述压板在外界压力下将形成于所述第一表面的凸起压入所述母板的主体部,使得所述第一表面形变为平面。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,
所述在所述发生形变的母板之上沉积薄膜基板,包括:
在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,
所述第一表面为平面,所述第二表面形成有多个凸起;所述通过压板使所述母板发生形变,包括:
所述压板在外界压力下,形成于所述第二表面的凸起被压入所述母板的主体部,所述第一表面形变为包括与所述第二表面的凸起形状相对应的凹槽。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,
所述在所述发生形变的母板之上沉积薄膜基板,包括:
在形变后的第一表面之上沉积所述薄膜基板。
6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述方法还包括:
在各所述凹槽中沉积第一材料,以使所述第一表面形变为水平面;
在所述第一表面之上沉积第二材料形成所述薄膜基板,其中,所述第一材料的硬度大于所述第二材料的硬度。
7.根据权利要求3或6所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:
在所述薄膜基板远离所述母板的一侧形成有像素阵列;其中,所述像素阵列包括多个子像素。
8.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,对所述母板进行第二次处理,使得所述母板与所述薄膜基板分离之后,所述方法还包括:
在所述薄膜基板与所述母板相接触的一侧形成平坦化层。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述母板的材料为记忆合金材料或形状记忆高分子材料。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述记忆合金材料包括:锑镍合金、锑铜合金、铜锌铝合金、铜铝镍合金或铁铂合金。
11.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述形状记忆高分子材料包括:聚降冰片烯、反式聚异戊二烯、苯乙烯-丁二烯共聚物或聚氨酯。
12.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,对所述母板进行第二次处理,使得所述母板与所述薄膜基板分离,包括:
加热处理、光照处理、通电处理或化学处理。
13.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述薄膜基板由以下至少一种材料制造而成:有机薄膜材料,无机薄膜材料;其中所述有机薄膜材料包括聚酰亚胺,所述无机薄膜材料包括氮化硅。
14.一种柔性显示面板,其特征在于,所述柔性显示面板由权利要求1-13之一所述的制备方法制备而成。
15.一种柔性显示装置,其特征在于,所述柔性显示装置包括如权利要求14所述的柔性显示面板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择