[发明专利]基板处理装置和方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

支撑单元，用于支撑基板；

对准单元，用于将放置在所述支撑单元的基板对准在适当位置；

传输单元，所述传输单元具有放置基板的机械手和用于测量所述机械手上基板位置的位置传感器，并将所述基板传输到所述支撑单元；和

训练单元，用于设置所述传输单元的将所述基板传输到所述支撑单元的传输位置，

其中，所述训练单元配置为执行以下步骤：

第一位置测量步骤，用于使用所述位置传感器测量放置在所述机械手上的基板的第一位置；

基板安置步骤，用于将放置在所述机械手上的基板安置在所述支撑单元上；

对准步骤，将放置在所述支撑单元上的基板对准在适当位置；

基板拾取步骤，用于使用所述传输单元从所述支撑单元上拾取放置在所述支撑单元上的基板；

第二位置测量步骤，用于使用所述位置传感器测量放置在所述机械手上的基板的第二位置；

偏移量确定步骤，用于确定所述第一位置和所述第二位置之间的差值；和

位置校正步骤，用于基于所述差值校正所述传输单元的传输位置；

以上步骤依次进行以设置传输单元的传输位置；

所述对准单元包括：

基板旋转构件，用于旋转放置在所述支撑单元上的基板；

移动构件，用于在水平方向上移动所述支撑单元；和

长度测量传感器，用于测量旋转基板的从所述旋转基板的旋转中心到面向预定方向的所述旋转基板的端部的长度。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述对准单元包括对准突起，所述对准突起设置在所述支撑单元上，并在所述对准突起的内表面具有朝向位于所述支撑单元的基板的中心倾斜向下的倾斜面。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，多个对准突起被设置成彼此间隔开以围绕位于所述支撑单元上的基板。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述对准突起的内端设置为与位于所述支撑单元上的基板的侧边相接触或相邻。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述训练单元控制所述移动构件移动所述支撑单元，使得所述基板根据所述对准步骤中由所述长度测量传感器测量的长度值来定位。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述长度测量传感器测量所述基板的一个旋转周期内的长度。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其特征在于，所述机械手设置有形成真空压力以吸附所述基板的真空孔。

8.一种基板处理方法，其特征在于，包括：

第一位置测量步骤，用于使用位置传感器测量放置在传输单元的机械手上的基板的第一位置，所述传输单元用于将基板传输到用于支撑基板的支撑单元上；

基板安置步骤，用于使用所述传输单元将放置在所述机械手上的基板放置在所述支撑单元上；

对准步骤，通过对准突起将放置在所述支撑单元上的基板对准在适当位置；

基板拾取步骤，用于使用所述传输单元从所述支撑单元拾取放置在所述支撑单元上的基板；

第二位置测量步骤，用于使用所述位置传感器测量放置在所述机械手上的基板的第二位置；

偏移量确定步骤，用于使用训练单元确定所述第一位置和所述第二位置之间的差值；和

位置校正步骤，用于使用所述训练单元基于所述差值校正所述传输单元的传输位置；

在所述对准步骤中，旋转放置在所述支撑单元上的所述基板，并在所述基板旋转的同时，测量旋转基板的从所述旋转基板的旋转中心到面向预定方向的所述旋转基板的端部的长度，并移动所述支撑单元，使得所述基板根据由测量装置测量的长度值定位在正确位置。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对准突起设置在所述支撑单元上，并在所述对准突起的内表面具有朝向位于所述支撑单元的基板的中心倾斜向下的倾斜面。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，长度的测量在所述基板的一个旋转周期内进行。