[发明专利]阴极组件的回收方法

说明书

本发明公开了一种阴极组件的回收方法，其中，所述回收方法包括：1)对待回收阴极组件进行尺寸检测；2)对经尺寸检测合格的待回收阴极组件表面进行刻蚀后镀膜，制得镀膜后的待回收阴极组件；3)将镀膜后的待回收阴极组件与阳极组装好后进行封装，而后经阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气后，检测其发射电流，若发射电流合格，则进行回收，反之，则进行报废。本发明通过对待回收阴极组件顺次经过尺寸检测、刻蚀后镀膜、封装、阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气后，检测其发射电流，通过对发射电流结果的判断来判定其是否合格，并进行回收。从而通过相对简单的方式大大提高了阴极组件的回收率，降低了使用成本。

技术领域

本发明涉及微波真空器件用阴极电子发生源组件，具体地，涉及阴极组件的回收方法。

背景技术

现代大功率微波器件中钡钨阴极被广泛地应用，用作电子源发射电子，是微波器件的“心脏”。

在微波器件尤其是行波管研制初期，需要制作大量的试验短管验证电子光学系统的合理性或者验证工艺设计的合理性。在此过程中就需要消耗掉大量的钡钨阴极，造成浪费。由于行波管研制初期制作的试验短管只是验证设计合理性而对阴极的寿命不做太高要求，只要阴极满足发射要求即可。

因此，提供一种能回收试验用短管电子枪中的阴极组件，大大提高其利用率，降低试验成本的阴极组件的回收方法是本发明亟需解决的问题。

发明内容

针对上述现有技术，本发明的目的在于克服现有技术中在试验过程中往往需要消耗掉大量的钡钨阴极，容易造成浪费的问题，从而提供一种能回收试验用短管电子枪中的阴极组件，大大提高其利用率，降低试验成本的阴极组件的回收方法。

为了实现上述目的，本发明提供了一种阴极组件的回收方法，其中，所述回收方法包括：

1)对待回收阴极组件进行尺寸检测；

2)对经尺寸检测合格的待回收阴极组件表面进行刻蚀后镀膜，制得镀膜后的待回收阴极组件；

3)将镀膜后的待回收阴极组件与阳极组装好后进行封装，而后经阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气后，检测其发射电流，若发射电流合格，则进行回收，反之，则进行报废。

优选地，步骤1)中待回收阴极组件为通过磨削或车削的方式从电子枪壳内分离出待回收阴极组件。

优选地，步骤1)中在对待回收阴极组件进行尺寸检测前还包括将待回收阴极组件进行毛刺剔除，并将剔除毛刺后的待回收阴极组件表面进行吹洗。

优选地，所述吹洗过程为采用压缩氮气进行吹洗。

优选地，步骤2)中刻蚀镀膜过程为置于离子刻蚀镀膜机中进行，且刻蚀的厚度为5-9μm，镀膜厚度为0.3-0.5μm。

优选地，所述镀膜为锇铱铝膜。

优选地，步骤3)中组装及封装过程包括：将镀好膜的待回收阴极组件装架到芯柱上并组装好测试阳极，然后封装到玻璃管壳内，最后将待回收阴极组件封接到阴极排气台上。

优选地，步骤3)中阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气包括：

阴极组件排气：当排气台中真空度达到不高于2×10-4Pa时，接通烘箱加热电源，使烘箱内温度升至370-390℃后保温1-2h，且升温速度控制在4℃/分钟；

阴极激活老练：当排气台中真空度达到不高于2.7×10-5Pa时，将待回收阴极组件上的灯丝引线与老练电源的接线柱连接起来，给阴极组件逐步加电，使得阴极组件温度达到1100-1150℃后，保温1.5-2h；