[发明专利]阴极组件的回收方法

权利要求书

1.一种阴极组件的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括：

1)对待回收阴极组件进行尺寸检测；

2)对经尺寸检测合格的待回收阴极组件表面进行刻蚀后镀膜，制得镀膜后的待回收阴极组件；

3)将镀膜后的待回收阴极组件与阳极组装好后进行封装，而后经阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气后，检测其发射电流，若发射电流合格，则进行回收，反之，则进行报废。

2.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，步骤1)中待回收阴极组件为通过磨削或车削的方式从电子枪壳内分离出待回收阴极组件。

3.根据权利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，步骤1)中在对待回收阴极组件进行尺寸检测前还包括将待回收阴极组件进行毛刺剔除，并将剔除毛刺后的待回收阴极组件表面进行吹洗。

4.根据权利要求3所述的回收方法，其特征在于，所述吹洗为采用压缩氮气进行吹洗。

5.根据权利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，步骤2)中刻蚀镀膜过程为置于离子刻蚀镀膜机中进行，且刻蚀的厚度为5-9μm，镀膜厚度为0.3-0.5μm。

6.根据权利要求5所述的回收方法，其特征在于，所述镀膜为锇铱铝膜。

7.根据权利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，步骤3)中组装及封装过程包括：将镀好膜的待回收阴极组件装架到芯柱上并组装好测试阳极，然后封装到玻璃管壳内，最后将待回收阴极组件封接到阴极排气台上。

8.根据权利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，步骤3)中阴极组件排气、阴极激活老练和阳极除气包括：

阴极组件排气：当排气台中真空度达到不高于2×10^-4Pa时，接通烘箱加热电源，使烘箱内温度升至370-390℃后保温1-2h，且升温速度控制在4℃/分钟；

阴极激活老练：当排气台中真空度达到不高于2.7×10^-5Pa时，将待回收阴极组件上的灯丝引线与老练电源的接线柱连接起来，给阴极组件逐步加电，使得阴极组件温度达到1100-1150℃后，保温1.5-2h；

阳极除气：接通阳极电源并缓慢增大阳极电压，使阴极发射电子打到阳极上，当分布在阳极上的功率达到4.5-5W时，保持时间不少于15分钟，保持时间结束后至真空系统内真空度不高于7.0×10^-6Pa。

9.根据权利要求1或2所述的回收方法，其特征在于，步骤3)中检测过程为：将组装好的待回收阴极组件与阳极接通电源，进行阴极测试，并通过绘制阴极伏安特性曲线检测发射电流是否合格。