[发明专利]复合镀金薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710482095.9 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN107313013A 公开(公告)日: 2017-11-03
发明(设计)人: 王强 申请(专利权)人: 维达力实业(深圳)有限公司
主分类号: C23C14/18 分类号: C23C14/18;C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 向薇
地址: 518129 广东省深圳市龙岗区坂田街*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 复合 镀金 薄膜 及其 制备 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及薄膜材料技术领域,特别是涉及复合镀金薄膜及其制备方法。

背景技术

出于人们对金本身色彩及价值的追求,在高端装饰镀领域,镀金一直占据着很重要的范畴。其中,采用物理气相沉积(PVD)的真空磁控溅射镀金较以往化学镀、阳极氧化、粉末涂装等工艺,有着污染小、结晶细致、平滑光亮、内应力较小等明显优势。

随着现代镀膜技术发展,人们对镀金薄膜要求越来越高,希望在表面拥有金黄色泽的同时,薄膜在耐时效性、耐高温性、耐磨性、耐腐蚀性方面能够进一步提升,得到可以长时间保持光亮色泽的镀金薄膜。而传统PVD镀金技术,主要包括离子清洗、Ti/Cr纯金属打底,面层镀金等工序,其主要技术缺陷在于:(1)离子清洗中,为保证表面吸附气体和杂质原子的清除,所需时间较长,表面较复杂的基材尤其明显;(2)镀金层与打底金属之间结合力较差,较易磨损,且磨损后会漏出底层银白色金属色,观感变差。

发明内容

基于此,有必要提供一种镀金层与打底金属之间结合力强的复合镀金薄膜。

一种复合镀金薄膜,包括:

层叠于基材表面的金属打底层;

层叠于所述金属打底层之上的第一过渡层,该第一过渡层的材料为TiN/TiCN;

层叠于所述第一过渡层之上的第二过渡层,该第二过渡层的材料为TiN/Au;

层叠于所述第二过渡层之上的镀金层。

本发明在打底金属层和镀金层之间设置第一过渡层TiN/TiCN和第二过渡层TiN/Au,其中,第一过渡层TiN/TiCN本身即为光滑致密的仿金色过渡层薄膜,且呈柱状生长,配合第二过渡层TiN/Au,能够对第一过渡层的间隙进行填补,进而有效改善镀金层与TiN/TiCN之间的结合力。

由此,本发明的复合镀金薄膜,能够较现有技术显著提高镀金层与其余层之间的结合力,不易磨损,经测试具有高亮度、耐温、耐腐蚀、耐磨的优点,能够满足对镀金薄膜性能和色彩两方面的要求。

本发明的复合镀金薄膜能够广泛应用于高端装饰镀领域,如钟表、手机或其它电子产品,以及其它饰物、工艺品等。

在其中一个实施例中,所述第一过渡层的厚度为0.3~0.5μm;所述第二过渡层的厚度为0.05~0.1μm。合理控制第一过渡层和第二过渡层的厚度,能够进一步提高镀金层的附着力。

在其中一个实施例中,所述金属打底层的厚度为0.2~0.5μm;所述镀金层的厚度为0.1~0.2μm。

在其中一个实施例中,所述金属打底层的材料为Ti。

在其中一个实施例中,所述基材为不锈钢、钛及其合金或其他硬质合金(如镁铝合金)中的一种。

本发明还提供所述的复合镀金薄膜的制备方法,采用磁控溅射技术依次在所述基材上沉积所述金属打底层、第一过渡层、第二过渡层和镀金层。

在其中一个实施例中,所述磁控溅射技术为中频磁控溅射。

在其中一个实施例中,沉积所述第一过渡层的工艺条件如下:

采用Ti靶,先通入N2生长TiN,再加入C2H2生长TiCN,N2的流量为25~35sccm、C2H2的流量为5~15sccm;真空室压强:0.1~0.5Pa;Ti靶电流:10~40A;时间:30~90min;直流偏压:-50~-200V。

在第一过渡层的沉积中,关键调节在于N2、C2H2的气流量及偏压。气量大小会对颜色L,a,b值产生影响;而偏压过小会影响粒子轰击能量导致膜层结合力偏差,过大则会造成电荷边缘积累出现边缘发白现象。通过对气量、沉积速率(靶电流、真空室压强)、偏压进行合理控制,可制备出高亮度、致密的第一过渡层TiN/TiCN,通用的测量颜色标准CIE1976(L*、a*、b*)来标定颜色,过渡层颜色L值为80-83,a值1-3,b值30-33,本身即为光滑致密的仿金色。

在其中一个实施例中,沉积所述第一过渡层的工艺条件如下:

采用Ti靶,先通入N2生长TiN,再加入C2H2生长TiCN,N2的流量为25~35sccm、C2H2的流量为5~10sccm;真空室压强:0.4~0.5Pa;Ti靶电流:25~40A;时间:50~90min;直流偏压:-50~-100V。

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