[发明专利]一种用于液晶显示屏玻璃基板的铜蚀刻液在审
申请号: | 201710474952.0 | 申请日: | 2017-06-21 |
公开(公告)号: | CN107236958A | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 白航空 | 申请(专利权)人: | 合肥市惠科精密模具有限公司 |
主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市新站区九*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 液晶显示屏 玻璃 蚀刻 | ||
1.一种用于液晶显示屏玻璃基板的铜蚀刻液,其特征在于,所述蚀刻液由以重量计的下述组分配制而成:氢氟酸15-25%、乙二胺15-25%、氯酸盐15-25%、三氯化铁15-25%、铜腐蚀抑制剂5-9%、阴离子表面活性剂7-11%。
2.根据权利要求1所述的一种用于液晶显示屏玻璃基板的铜蚀刻液,其特征在于:所述铜蚀刻液的铜浓度为60-150克/升。
3.根据权利要求1所述的一种用于液晶显示屏玻璃基板的铜蚀刻液,其特征在于:所述通腐蚀抑制剂选自含有硫原子、且含有至少一种选自氨基、亚氨基、羧基、羰基及羟基中的取代基的碳原子数为7以下的化合物。
4.根据权利要求1所述的一种用于液晶显示屏玻璃基板的铜蚀刻液,其特征在于:所述阴离子表面活性剂是选自由十二烷基硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠和二辛基琥珀酸磺酸钠中的至少一种阴离子表面活性剂。
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