[发明专利]基于喷墨打印技术的像素结构及其制作方法有效
申请号: | 201710464655.8 | 申请日: | 2017-06-19 |
公开(公告)号: | CN107195796B | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 方俊雄;吴元均;吕伯彦 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 吴大建;王浩 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 喷墨 打印 技术 像素 结构 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种基于喷墨打印技术的像素结构及其制作方法,本发明中的像素结构及其制作方法采用金属氧化物半导体材料作为阳极层的制作材料,采用导体化过程将阳极层分为导体区和半导体区。其中半导体区与现有技术中的介电层具有相同的作用。本发明中的制作方法避免了介电层的形成,因此制作过程简单,并且得到的通过喷墨形成的有机功能层膜层均匀,有效提升了产品的品质。
技术领域
本发明涉及OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管)制造领域,具体涉及基于喷墨打印技术的像素结构及其制作方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diodes,OLED)显示器,又称有机电致光发光显示器,具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、宽视角、使用温度范围宽,可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。
现有技术中的OLED显示面板一般包括依次形成于基板上的阳极、有机功能层和阴极,其中有机功能层一般包括设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层。OLED显示面板的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下,通过载流子注入和复合导致发光。具体的,在一定电压驱动下,电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层,电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层,并在发光层中相遇,形成激子并使发光分子激发,后者经过辐射弛豫而发出可见光。
OLED显示面板中有机功能层以及阴极金属层薄膜最为传统的制作方式是真空蒸镀。随着工艺的发展,一种相对于真空蒸镀方式更具优势的喷墨打印(Ink-Jet Printing)逐渐被各大生产厂家所采用。
在OLED的制造工艺上,喷墨打印(Ink-Jet Printing)相比于蒸镀在材料利用率以及成本上有较大的优势。但是随著显示面板的分辨率日益提高,如图1所示为以往常用的RGB三色子像素单元相邻排列(RGB strip Side by Side)的像素设计方式。由于显示面板的分辨率日益提高,子像素单元的个数越来越多,子像素单元的尺寸越来越小,因此在子像素单元内可供喷墨打印设备(Ink-Jet Printer)喷墨操作的区域较小。现有的喷墨打印设备(Ink-Jet Printer)的精准度逐渐无法满足显示面板生产的需求。因此,喷墨打印设备(Ink-Jet Printer)的极限无法满足制作较高分辨率的产品的要求。为了克服这一技术问题,出现了如图2a所示的新型二合一(2in 1)的像素设计,可以有效增加喷墨打印设备(Ink-Jet Printer)喷墨的区域,因此可以满足制作更高分辨率的产品的需求。如图2b所示为图2a中的单个的子像素结构的放大结构示意图,图2c是图2b的A-A向剖视示意图。为了清楚的说明现有技术中存在的问题,在图2b和图2c仅仅示意出了基板、阳极、介电层、像素范围界定结构以及有机功能层,其他部分的结构不做具体的示意,但本领域技术人员可根据需要进行具体的设定。如图2b和图2c所示,这种二合一(2in 1)的像素工艺是将两个相邻相同颜色的子像素结构排列在一起,在基板1上,两个相邻的相同颜色的子像素结构的阳极2中间用介电层3分隔开,在阳极2上设置有像素范围界定结构(Bank)4,像素范围界定结构(Bank)4用于定义喷墨区域。喷墨过程中利用喷墨打印设备(Ink-Jet Printer)的多个喷嘴将功能材料墨水滴入像素范围界定结构(Bank)4定义的喷墨区域,之后通过干燥获得所需薄膜5。此种工艺存在一定的技术问题,首先该工艺在基板1上形成阳极2,然后需要对阳极进行蚀刻并形成介电层3,因此过程较为复杂,并且由于介电层3与像素范围界定结构(Bank)4对功能材料墨水(ink)的亲疏水特性不同,容易造成功能材料墨水(ink)在喷墨区域内的膜厚不均匀。
发明内容
为解决现有技术中存在的问题,本发明提供一种基于喷墨打印技术的像素结构制作方法,包括以下步骤:
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