[发明专利]一种精细图案的制作方法及显示装置有效
申请号: | 201710457815.6 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN107024833B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 王志强;陈荣龙;李明龙;殷鹏飞;马纪艳;高鸿飞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精细 图案 制作方法 显示装置 | ||
本发明公开了一种精细图案的制作方法及显示装置,采用具有与待形成的精细图案一致的特定凸版图形的金属模板制作精细图案,可以不受曝光机的精度限制。在将待固化胶填充至金属模板的凹槽内后,利用待固化胶倒模的方式将待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面,并固化待固化胶,以在显示基板的表面形成固化胶,来替代纳米压印过程中使用压力在显示基板上形成压膜图案,可以避免压力不均导致的电性不良的问题。在具有固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层后,采用去除固化胶以去除位于固化胶之上的膜层区域的方式得到精细图案,可以避免形成图形过程中采用蚀刻工艺而影响精细图案的均匀性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种精细图案的制作方法及显示装置。
背景技术
目前,在显示装置的制作过程中,在制作诸如金属网格触控电极图形这类具有精细图案的图形时,主要采用纳米压印技术或曝光显影技术。
其中,纳米压印技术在实际量产过程中,容易出现在压印过程中压力不均导致图形线路沟道深度不均的问题,从而引起导电材料在印刷后深度较浅的区域导电材料较少而引起电性连接不良的问题;并且,在纳米压印的刮印过程中还容易出现漏印、残留等而导致电性连接不良的问题。
而曝光显影技术会受限于曝光机的精度以及蚀刻均匀性等影响,不易制作超细线宽的图形,因此量产难度较大。
发明内容
有鉴于此,本发明实施例提供了一种精细图案的制作方法及显示装置,用以实现超细线宽的精细图案制作。
因此,本发明实施例提供了一种精细图案的制作方法,包括:
在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶,所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致;
利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面,并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶;
在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层;
去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域,以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中,在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前,还包括:
在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时,在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中,在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶,具体包括:
在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中,所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面,并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶,具体包括:
在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板;
抽真空使所述金属模板与所述显示基板紧密贴合;
翻转紧密贴合的所述金属模板与所述显示基板,使所述待固化胶转移至所述显示基板的表面;
固化所述待固化胶,以在所述显示基板的表面形成固化胶;
取下所述金属模板。
在一种可能的实现方式中,在本发明实施例提供的上述精细图案的制作方法中,所述固化所述待固化胶,以在所述显示基板的表面形成固化胶,具体包括:
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