[发明专利]一种精细图案的制作方法及显示装置有效
申请号: | 201710457815.6 | 申请日: | 2017-06-16 |
公开(公告)号: | CN107024833B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 王志强;陈荣龙;李明龙;殷鹏飞;马纪艳;高鸿飞 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精细 图案 制作方法 显示装置 | ||
1.一种精细图案的制作方法,其特征在于,包括:
在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶,所述特定凸版图形与待形成的精细图案一致;
利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面,并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶;
在具有所述固化胶的显示基板表面形成整面的待形成精细图案的膜层;
去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域,以利用剩余的所述膜层区域在所述显示基板上形成所需的精细图案;
其中,所述去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域,具体包括:
采用物理方式撕除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域。
2.如权利要求1所述的精细图案的制作方法,其特征在于,在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶之前,还包括:
在确定所述金属模板的表面与所述待固化胶之间的附着力大于预设阈值时,在所述金属模板的表面形成降低所述金属模板与所述待固化胶之间附着力的疏水涂层。
3.如权利要求1所述的精细图案的制作方法,其特征在于,在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充待固化胶,具体包括:
在具有特定凸版图形的金属模板的凹槽内填充厚度小于所述凹槽深度的待固化胶。
4.如权利要求1所述的精细图案的制作方法,其特征在于,所述利用倒模的方式将所述待固化胶转移至待形成精细图案的显示基板的表面,并固化所述待固化胶以在所述显示基板的表面形成固化胶,具体包括:
在所述金属模板具有特定凸版图形的表面放置待形成精细图案的显示基板;
抽真空使所述金属模板与所述显示基板紧密贴合;
翻转紧密贴合的所述金属模板与所述显示基板,使所述待固化胶转移至所述显示基板的表面;
固化所述待固化胶,以在所述显示基板的表面形成固化胶;
取下所述金属模板。
5.如权利要求4所述的精细图案的制作方法,其特征在于,所述固化所述待固化胶,以在所述显示基板的表面形成固化胶,具体包括:
采用特定波长光照射所述待固化胶,以在所述显示基板的表面形成固化胶。
6.如权利要求1所述的精细图案的制作方法,其特征在于,在去除所述固化胶以及所述膜层在所述固化胶上的区域之后,还包括:
采用有机溶剂清洗所述显示基板,去除残留的所述固化胶。
7.如权利要求1-6任一项所述的精细图案的制作方法,其特征在于,还包括:
在衬底基板上涂覆一层光刻胶;
在所述光刻胶上采用激光直写去除与所述特定凸版图形互补的图案,之后对所述光刻胶显影;
在形成有显影后的所述光刻胶的衬底基板上,采用电镀工艺形成所述具有特定凸版图形的金属模板。
8.一种显示装置,其特征在于,包括:采用如权利要求1-7任一项所述的制作方法制得的精细图案。
9.如权利要求8所述的显示装置,其特征在于,所述精细图案为触控电极的金属网格图案。
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