[发明专利]荧光检测装置

权利要求书

1.一种荧光检测装置，其对有无保护膜的包覆进行检测，所述保护膜保护工件的正面免受对工件进行激光加工时所产生的加工屑的影响，该保护膜由含有对激光的波长的光进行吸收的吸收剂的树脂形成，其中，

该荧光检测装置具有：

保持部，其对所述工件进行保持；以及

光检测单元，其利用所述保护膜发出的荧光对所述保护膜的包覆状态进行检测，

所述光检测单元包含：

激发光照射部，其对所述保护膜照射具有所述吸收剂所吸收的波长的激发光；

光检测部，其对所述吸收剂因被照射所述激发光而发出的荧光进行接收；

滤波器，其将所述吸收剂所发出的荧光以外的波长的光去除；以及

反射镜，其具有将来自所述保护膜的荧光反射而导入到所述光检测部的反射面，

所述反射面由旋转椭圆体的曲面的一部分构成，所述旋转椭圆体的两个焦点中的一个焦点位于所述保护膜的被照射所述激发光的部分，另一个焦点位于所述光检测部。

2.根据权利要求1所述的荧光检测装置，其中，

所述光检测部包含光电倍增管。

3.根据权利要求1或2所述的荧光检测装置，其中，

所述激发光照射部设置在所述工件的被照射区域与所述滤波器之间。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的荧光检测装置，其中，

所述保持部兼用于激光加工。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的荧光检测装置，其中，

所述激发光照射部、所述光检测部、所述滤波器和所述反射镜配置在一个外壳内。