[发明专利]X射线衍射装置

权利要求书

1.一种X射线衍射装置，在以测角仪圆的中心点为中心的角度的各角度中利用X射线检测器来检测在向样品照射X射线时在该样品处衍射的衍射X射线，由此，得到衍射X射线的X射线衍射角度，所述X射线衍射装置的特征在于，

具有具备X射线通过口的X射线遮蔽构件，

所述X射线通过口使以通过所述测角仪圆的中心点的方式在所述样品处衍射的X射线通过，

以通过所述测角仪圆的中心点以外的区域的方式在所述样品处衍射的X射线由所述X射线遮蔽构件所遮蔽。

2.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述X射线通过口被设置在所述测角仪圆的中心点上。

3.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述X射线遮蔽构件与所述样品的表面接触，或者设置在所述样品的表面的近旁。

4.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述X射线遮蔽构件与所述样品的所述X射线检测器侧的端面接触，或者设置在所述样品的所述X射线检测器侧的端面的近旁。

5.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述X射线通过口为在与样品交叉的方向上延伸的针孔、或者在与样品交叉的方向上延伸的缝隙。

6.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，入射到所述样品的X射线为线焦点的X射线，该线焦点的长尺寸方向为与所述样品的表面平行的方向。

7.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，针对样品以低角度使X射线入射，使得在相对于样品的表面垂直的晶格面产生衍射。

8.根据权利要求7所述的X射线衍射装置，其特征在于，

具有调整X射线相对于所述样品的入射角的ω旋转系统、使所述样品进行面内旋转的φ旋转系统、使所述X射线检测器向平面外方向移动的2θ旋转系统、以及使所述X射线检测器向平面内方向移动的2θχ旋转系统，

所述ω移动系统、所述φ移动系统、所述2θ旋转系统以及所述2θχ旋转系统以作为共同的中心点的测角仪圆的中心点为基点进行动作。