[发明专利]一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器

权利要求书

1.一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，包括底电极、顶电极以及位于两电极之间的阻变功能层，其特征在于：所述的阻变功能层为掺杂有TiO₂纳米颗粒的氧化石墨烯乙醇溶液经磁力搅拌器上搅拌，旋涂在底电极表面，形成的薄膜，所述的薄膜再经过紫外光照射处理；

所述的掺杂有TiO₂纳米颗粒的氧化石墨烯乙醇溶液，其中氧化石墨烯的含量为0.5mg/ml～2mg/ml；TiO₂纳米颗粒与氧化石墨烯两者的质量比为1:30～1:5；

所述的紫外光照射处理为光照时间为2～15分钟；

所述的紫外光的光强度为2～8mW/cm²。

2. 根据权利要求1所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的TiO₂纳米颗粒的粒径为 10nm～20nm。

3.根据权利要求2所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的搅拌时间为5～10小时；所述的阻变功能层其厚度为50nm～200nm。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的紫外光波长为320～400nm。

5.根据权利要求或4所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的紫外光波长为387nm；所述的紫外光的光强度为5mW/cm²。

6.根据权利要求5所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的底电极为氧化铟锡ITO或掺氟氧化锡FTO导电玻璃；所述的顶电极为惰性金属电极。

7.根据权利要求6所述的一种基于氧化石墨烯的高稳定性阻变存储器，其特征在于：所述的惰性金属电极为Al、Au或Pt。