[发明专利]阻变器件及其制作方法、显示基板的制作方法、显示装置

说明书

本发明公开了一种阻变器件及其制作方法、显示基板的制作方法、显示装置，属于电子制造领域。所述阻变器件的制作方法包括：形成第一电极层；在所述第一电极层上形成表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层；对所述表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层进行退火，以使碳单质层至少部分地通过与所述过渡金属氧化物层之间发生的氧化还原反应以气体的形式挥发，并使所述过渡金属氧化物层由其内部产生的氧空位而向阻变材料转变；形成第二电极层。本发明能够解决阻变器件的阻变特性在制作工艺中难以调整的问题，实现高品质而低成本的阻变器件的制作工艺。

技术领域

本发明涉及电子制造领域，特别涉及一种阻变器件及其制作方法、显示基板的制作方法、显示装置。

背景技术

随着近两年来新型阻变材料研究获得的进展，阻变器件开始受到人们的重视，阻变材料是一种可以根据外加偏压实现电阻态改变的材料，而阻变器件就是利用阻变材料的电阻态可变这种特性进行数字信号处理的电子器件。阻变器件可以在正向偏压下由高阻态变为低阻态，也可以在反向偏压下由低阻态返回高阻态，从而可以作为开关器件来使用，能够部分或完全替代显示器件中晶体管的功能。但是，在将阻变器件的制作过程结合至例如显示器件的制作工艺中时，面临阻变器件的阻变特性难以调整的问题。例如在设计工艺流程时，可以根据多方面情况确定阻变器件的阻变材料，并将阻变材料制作在电极之间以形成所需要的阻变器件。而由于阻变材料一旦确定，阻变器件本身的阻变特性(例如高阻态与低阻态之间的转变电压)就是相对固定的，而几乎无法通过如改变工艺参数等手段进行调整。由此，目前只能通过改变阻变材料并采用另外一整套的工艺配方，才能制作得到另一种阻变特性的阻变器件，而这在实际的产品生产中是非常困难的。

发明内容

本发明提供一种阻变器件及其制作方法、显示基板的制作方法、显示装置，能够解决阻变器件的阻变特性在制作工艺中难以调整的问题。

第一方面，本发明提供了一种阻变器件的制作方法，包括：

形成第一电极层；

在所述第一电极层上形成表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层；

对所述表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层进行退火，以使碳单质层至少部分地通过与所述过渡金属氧化物层之间发生的氧化还原反应以气体的形式挥发，并使所述过渡金属氧化物层由其内部产生的氧空位而向阻变材料转变；

形成第二电极层。

在一种可能的实现方式中，所述在所述第一电极层上形成表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层，包括：

在所述第一电极层上形成碳单质层；

在所述碳单质层上形成过渡金属氧化物层。

在一种可能的实现方式中，所述在所述碳单质层上形成过渡金属氧化物层，包括：

通过印刷工艺将过渡金属氧化物的溶胶打印在所述碳单质层上，以形成过渡金属氧化物层。

在一种可能的实现方式中，所述印刷工艺具体是凸版印刷工艺或者喷墨打印工艺。

在一种可能的实现方式中，所述在所述第一电极层上形成表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层，包括：

在所述第一电极层上形成过渡金属氧化物层；

在所述过渡金属氧化物层上形成碳单质层。

在一种可能的实现方式中，在对所述表面相互接触的碳单质层和过渡金属氧化物层进行退火处理时，使所述碳单质层以气体的形式完全挥发。

在一种可能的实现方式中，所述第一电极层和/或第二电极层的形成材料是金属。

第二方面，本发明还提供了一种阻变器件，所述阻变器件采用上述任意一种阻变器件的制作方法制作得到。