[发明专利]张网装置、基台、夹具及掩膜板的夹持方法

权利要求书

1.一种张网装置，其特征在于，包括：

用于承载掩膜板的基台、用于夹持所述掩膜板的夹具和设置在所述基台或所述夹具上的形变调节组件；

所述形变调节组件用于在所述基台承载所述掩膜板时调节所述掩膜板凸出于所述基台的部分在重力方向上的形变量，使所述形变量小于预设形变阈值。

2.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，

所述形变调节组件包括：电磁铁和电流控制单元；

所述电磁铁与所述电流控制单元连接，所述电流控制单元通过控制输出的电流大小以控制所述电磁铁的电磁力。

3.根据权利要求2所述的张网装置，其特征在于，所述张网装置还包括：测量单元；

所述测量单元与所述电流控制单元连接，所述测量单元用于测量所述掩膜板凸出于所述基台的部分在重力方向上的初始形变量，所述初始形变量为所述调节组件调节之前的所述掩膜板凸出于所述基台的部分在重力方向上的形变量；

所述电流控制单元用于根据所述初始形变量确定所述电流控制单元输出的电流，并向所述电磁铁输出所述电流。

4.根据权利要求3所述的张网装置，其特征在于，

所述电流控制单元输出的电流的数值大小等于所述初始形变量的数值大小与预设比值的乘积，且所述电磁铁的电磁力小于或等于所述掩膜板凸出于所述基台的部分所受到的重力。

5.根据权利要求1所述的张网装置，其特征在于，

所述形变调节组件包括：n1个可拆卸设置的磁铁，所述n1为大于或等于2的整数。

6.根据权利要求2至5任一所述的张网装置，其特征在于，

所述张网装置还包括：支撑杆，

所述支撑杆一端与所述基台的边缘连接，另一端上设置有所述形变调节组件，所述形变调节组件位于所述基台的工作面上方。

7.根据权利要求2至5任一所述的张网装置，其特征在于，

所述夹具包括：夹持组件；

所述夹持组件包括：第一子夹持件和第二子夹持件，

所述第一子夹持件和第二子夹持件活动连接，所述第一子夹持件的一端位于所述基台的工作面所在平面的上方，所述第二子夹持件的一端位于所述基台的工作面所在平面的下方；

所述形变调节组件设置在所述第一子夹持件的一端上。

8.根据权利要求6所述的张网装置，其特征在于，

所述夹具有n2个，所述支撑杆有n2个，所述形变调节组件有n2个，所述n2为大于或等于4的整数，n2个所述支撑杆与n2个所述形变调节组件一一对应设置。

9.一种基台，其特征在于，包括：基台本体、支撑杆和形变调节组件；

所述支撑杆一端与所述基台本体的边缘连接，另一端上设置有所述形变调节组件，所述形变调节组件位于所述基台本体的工作面上方。

10.根据权利要求9所述的基台，其特征在于，

所述形变调节组件包括：电磁铁和电流控制单元；

所述电磁铁与所述电流控制单元连接，所述电流控制单元通过控制输出的电流大小以控制所述电磁铁的电磁力。

11.一种夹具，其特征在于，包括：夹具本体和形变调节组件；

所述夹具本体包括：夹持组件；

所述夹持组件包括：第一子夹持件和第二子夹持件，所述第一子夹持件和第二子夹持件活动连接；

所述形变调节组件设置在所述第一子夹持件的一端上。

12.根据权利要求11所述的夹具，其特征在于，

所述形变调节组件包括：电磁铁和电流控制单元；

所述电磁铁与所述电流控制单元连接，所述电流控制单元通过控制输出的电流大小以控制所述电磁铁的电磁力。