[发明专利]缺陷检查方法及其设备

权利要求书

1.一种缺陷检查方法，所述缺陷检查方法通过相对于待拍摄对象(20)照射条纹照明并且基于从所述待拍摄对象(20)得到的图像来检查在所述待拍摄对象(20)上是否存在缺陷，所述缺陷检查方法包括以下步骤：

从设置在机器底座(12)中的第一条纹照明照射单元(14)将第一条纹照明(L1)直接照射在所述待拍摄对象(20)上，同时由配置在所述机器底座(12)的通孔(30)内的半反射镜(38)反射来自第二条纹照明照射单元(16)的第二条纹照明(L2)，并且将所述第二条纹照明(L2)穿过所述通孔(30)照射到所述待拍摄对象(20)上；以及

由图像获取单元(40)透过所述半反射镜(38)来拍摄所述待拍摄对象(20)的用所述第一条纹照明(L1)和所述第二条纹照明(L2)照射的部位；

其中，在通过移位装置使所述机器底座(12)、所述第二条纹照明照射单元(16)、所述半反射镜(38)和所述图像获取单元(40)移位的同时，连续地执行照射和拍摄。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查方法，其中：

所述第二条纹照明照射单元(16)设置在形成在所述机器底座(12)中的所述通孔(30)中，并且所述第二条纹照明(L2)按在相对于所述第一条纹照明(L1)的前进方向交叉的方向上前进这样的方式照射。

3.根据权利要求2所述的缺陷检查方法，其中：

所述通孔(30)形成为矩形形状，并且所述第二条纹照明照射单元(16)安装在所述通孔(30)的第一内壁上，进一步地，所述第二条纹照明(L2)按向着面向所述第一内壁的第二内壁前进这样的方式照射；并且

所述半反射镜(38)按与所述第二条纹照明照射单元(16)一起闭合所述通孔(30)这样的方式设置，并且设置成使得所述第二条纹照明(L2)被所述半反射镜(38)反射。

4.一种缺陷检查设备(10)，所述缺陷检查设备适于通过相对于待拍摄对象(20)照射条纹照明并且基于从所述待拍摄对象(20)得到的图像来检查在所述待拍摄对象(20)上是否存在缺陷，所述缺陷检查设备包括：

机器底座(12)，在所述机器底座(12)中形成有通孔(30)，并且在所述机器底座(12)中设置有第一条纹照明照射单元(14)，所述第一条纹照明照射单元(14)适于将第一条纹照明(L1)直接照射到所述待拍摄对象(20)上；

第二条纹照明照射单元(16)，所述第二条纹照明照射单元(16)适于将第二条纹照明(L2)穿过所述通孔(30)照射到所述待拍摄对象(20)上；

半反射镜(38)，所述半反射镜(38)配置在所述通孔(30)内，适于将所述第二条纹照明(L2)在使得所述第二条纹照明(L2)向着所述待拍摄对象(20)前进的方向上反射；

图像捕获单元(40)，所述图像捕获单元(40)适于透过所述半反射镜(38)拍摄所述待拍摄对象(20)的用所述第一条纹照明(L1)和所述第二条纹照明(L2)照射的部位；以及

移位装置，所述移位装置适于使所述机器底座(12)、所述第二条纹照明照射单元(16)、所述半反射镜(38)和所述图像捕获单元(40)移位。

5.根据权利要求4所述的缺陷检查设备(10)，其中：

所述第二条纹照明照射单元(16)设置在形成在所述机器底座(12)中的所述通孔(30)中，使得所述第二条纹照明(L2)按在相对于所述第一条纹照明(L1)的前进方向交叉的方向上前进这样的方式照射。

6.根据权利要求5所述的缺陷检查设备(10)，其中：

所述通孔(30)具有矩形形状，并且所述第二条纹照明照射单元(16)安装在所述通孔(30)的第一内壁上，进一步地，所述第二条纹照明(L2)按向着面向所述第一内壁的第二内壁前进这样的方式照射；并且

所述半反射镜(38)与所述第二条纹照明照射单元(16)一起闭合所述通孔(30)。