[发明专利]一种动态配气仪及其配气方法

权利要求书

1.一种动态配气仪，包括标准气体通路、稀释气体通路及混合气体通路，其特征在于：所述标准气体通路上设有第一阀组及标准气体流量控制器，所述稀释气体通路上设有第二阀组及稀释气体流量控制器，所述第一阀组与所述第二阀组之间设有连通阀；所述标准气体通路及稀释气体通路分别通过所述标准气体流量控制器及稀释气体流量控制器与所述混合气体通路连接；还包括臭氧发生器，所述臭氧发生器的进气口通过第三阀组与所述标准气体流量控制器连接，所述臭氧发生器的出气口与所述混合气体通路连接。

2.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于：所述臭氧发生器与所述稀释气体流量控制器之间连接有第四阀组。

3.根据权利要求1所述的动态配气仪，其特征在于：所述标准气体流量控制器的出气口还连接有第五阀组，所述第五阀组的另一端与所述混合气体通路连接。

4.根据权利要求1-3任一项所述的动态配气仪，其特征在于：所述第一阀组包括至少一个单阀组，每个单阀组均对应连接有一条标准气体接入支路，用于控制相应的标准气通入所述标准气体流量控制器。

5.一种采用如权利要求1所述的动态配气仪进行的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：

开启所述标准气体的接入，接通所述第一阀组，根据预设标准气体的流量值，控制所述标准气体流量控制器的控制量，标准气体通过所述标准气体流量控制器进入所述混合气体通路中；

开启所述稀释气体的接入，接通所述第二阀组，根据预设稀释气体的流量值，控制所述稀释气体流量控制器的控制量，稀释气体通过所述稀释气体流量控制器进入所述混合气体通路中；

所述标准气体与所述稀释气体混合，得到目标气体。

6.一种采用如权利要求1所述的动态配气仪进行的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：

开启所述稀释气体的接入；

接通所述第二阀组、所述连通阀及所述第三阀组，根据预设制备臭氧的流量值，控制所述标准气体流量控制器的控制量，一部分所述稀释气体依次通过所述标准气体流量控制器及第三阀组后进入所述臭氧发生器，制备臭氧，并将制备得到的臭氧送入所述混合气体通路中；

根据预设稀释气体的流量值，控制所述稀释气体流量控制器的控制量，剩余部分所述稀释气体通过所述稀释气体流量控制器进入所述混合气体通路中；

所述臭氧与所述稀释气体混合，得到目标气体。

7.一种采用如权利要求2所述的动态配气仪进行的配气方法，其特征在于，包括以下步骤：

开启所述稀释气体的接入，接通所述第二阀组及所述第四阀组，根据预设稀释气体的流量值，控制所述稀释气体流量控制器的控制量，稀释气体通过所述稀释气体流量控制器后，一部分所述稀释气体通过所述第四阀组进入所述臭氧发生器，制备臭氧；剩余部分所述稀释气体进入所述混合气体通路中；

开启所述标准气体的接入，接通所述第一阀组及所述第三阀组，根据预设标准气体的流量值，控制所述标准气体流量控制器的控制量，标准气体通过所述标准气体流量控制器及第三阀组后进入所述臭氧发生器，与所述制备得到的臭氧反应，得到第一气体，并将制备得到的第一气体送入所述混合气体通路中；

所述第一气体与所述稀释气体混合，得到目标气体。